7月25-27日，2025年中國(guó)西部半導(dǎo)體及集成電路產(chǎn)業(yè)博覽會(huì)將在西安國(guó)際會(huì)展中心舉行，作為行業(yè)先進(jìn)的本土氣體質(zhì)量流量計(jì)及氣體質(zhì)量流量控制器自主研發(fā)生產(chǎn)制造商，陜西易度智能科技有限公司將展示其自主研發(fā)的層流壓差式質(zhì)量流量計(jì)與控制器系列產(chǎn)品——這些突破“卡脖子”技術(shù)的關(guān)鍵部件正在重塑中國(guó)半導(dǎo)體裝備的“呼吸系統(tǒng)”。

國(guó)產(chǎn)化突破：從技術(shù)依賴(lài)到自主創(chuàng)新

陜西易度智能科技有限公司是一家專(zhuān)注研發(fā)制造業(yè)微流量控制核心器件的技術(shù)企業(yè)，憑借自主研發(fā)十余年的技術(shù)積淀，已成為國(guó)內(nèi)極少數(shù)掌握層流壓差式核心技術(shù)的企業(yè)。

公司研發(fā)團(tuán)隊(duì)以西北工業(yè)大學(xué)數(shù)名博士后、博士為核心，依托航空宇航專(zhuān)業(yè)背景，在微流量測(cè)控領(lǐng)域擁有深厚技術(shù)積累。目前已取得20余項(xiàng)創(chuàng)新型技術(shù)和幾十項(xiàng)國(guó)內(nèi)外認(rèn)證，并參與了國(guó)家《層流流量計(jì)檢定規(guī)程》等標(biāo)準(zhǔn)的制定。

“我們堅(jiān)持從一條公式開(kāi)始研發(fā)高性能產(chǎn)品?！币锥戎悄艿募夹g(shù)發(fā)展理念體現(xiàn)了對(duì)基礎(chǔ)科學(xué)的尊重。從論證到研發(fā)再到批量投產(chǎn)，產(chǎn)品的高性能及高穩(wěn)定性，讓易度智能氣體質(zhì)量流量計(jì)及控制器在半導(dǎo)體行業(yè)獲得了多家國(guó)內(nèi)頭部半導(dǎo)體設(shè)備商的青睞。

精密控制：半導(dǎo)體制造的“氣體脈搏”

在半導(dǎo)體芯片制造過(guò)程中，特氣控制的精度直接決定芯片良品率。易度智能針對(duì)半導(dǎo)體特氣控制的高標(biāo)準(zhǔn)要求，專(zhuān)門(mén)建立了百級(jí)潔凈間生產(chǎn)線，確保產(chǎn)品滿足晶圓制造的嚴(yán)苛環(huán)境。

易度產(chǎn)品基于層流壓差原理，通過(guò)內(nèi)置壓力與溫度傳感器實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)補(bǔ)償，解決了半導(dǎo)體制造中混合氣體控制、快速響應(yīng)和高精度要求的三大技術(shù)痛點(diǎn)。其無(wú)需轉(zhuǎn)換系數(shù)即可實(shí)現(xiàn)任意比例混合氣體切換的特性，顯著簡(jiǎn)化了半導(dǎo)體工藝氣體切換的操作流程。

國(guó)產(chǎn)替代：從“可用”到“好用”的跨越

長(zhǎng)期以來(lái)，半導(dǎo)體制造用質(zhì)量流量控制器市場(chǎng)被國(guó)際品牌壟斷。易度智能憑借層流壓差技術(shù)路線的差異化優(yōu)勢(shì)，實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)MFC從“技術(shù)可用”到“技術(shù)好用”的關(guān)鍵跨越。

“在國(guó)產(chǎn)替代趨勢(shì)下，我們?cè)诎雽?dǎo)體制造、燃料電池測(cè)試等領(lǐng)域的表現(xiàn)尤為突出?！币锥戎悄芗夹g(shù)負(fù)責(zé)人指出。公司產(chǎn)品已在多家國(guó)內(nèi)頭部半導(dǎo)體設(shè)備商的機(jī)臺(tái)中實(shí)現(xiàn)批量應(yīng)用，助力國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)、刻蝕機(jī)等核心裝備實(shí)現(xiàn)流量控制部件的本土化替代。

隨著國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程加速，國(guó)產(chǎn)MFC在半導(dǎo)體市場(chǎng)替代需求持續(xù)提升。行業(yè)數(shù)據(jù)顯示，預(yù)計(jì)到2030年，國(guó)產(chǎn)化率將超過(guò)40%，這是行業(yè)對(duì)國(guó)產(chǎn)質(zhì)量流量控制器在半導(dǎo)體領(lǐng)域滲透率的預(yù)期。而易度智能正處在這場(chǎng)替代浪潮的前沿。在西部半導(dǎo)體展聚光燈外，易度智能的工程師們?nèi)栽诎偌?jí)潔凈間內(nèi)調(diào)試下一代產(chǎn)品。

他們的目標(biāo)明確：將產(chǎn)品穩(wěn)定性做到更好，讓中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備的每一次“呼吸”都精準(zhǔn)無(wú)誤。

精密氣體流控領(lǐng)域的競(jìng)賽從未停止，但這一次，陜西易度智能科技有限公司這位中國(guó)創(chuàng)新者已躋身第一梯隊(duì)。