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預(yù)算超2.8億！中國科學(xué)院微電子研究所近期采購意向來了
2025年02月17日 11:23:10 來源：化工儀器網(wǎng) 點擊量：6655

近期，中國科學(xué)院微電子研究所連續(xù)發(fā)布多項儀器設(shè)備采購意向，預(yù)算金額達28366萬元。涉及儀器設(shè)備包括全自動光學(xué)顯微鏡、刻蝕設(shè)備、X射線光電子能譜儀、等離子體增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備、干法去膠機等。

　　近期，中國科學(xué)院微電子研究所連續(xù)發(fā)布多項儀器設(shè)備采購意向，預(yù)算金額達28366萬元。涉及儀器設(shè)備包括全自動光學(xué)顯微鏡、刻蝕設(shè)備、X射線光電子能譜儀、等離子體增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備、干法去膠機等。預(yù)計采購時間2025年3至6月。
 
　　采購意向只是政府采購的初步安排，具體采購情況以中國科學(xué)院微電子研究所發(fā)布的采購公告和采購文件為準(zhǔn)，有意向的企業(yè)可持續(xù)關(guān)注該研究所發(fā)布的招標(biāo)信息。
 
　　中國科學(xué)院微電子研究所采購預(yù)算匯總
 
　　

采購項目名稱

采購需求概況

預(yù)算金額（萬元）

預(yù)計采購日期

硅片

制備半導(dǎo)體器件，數(shù)量700片

150

2025年02月

4G-LTE Cat.1通信SOC芯片晶圓

4G-LTE Cat.1通信的SOC芯片及其配套的PMIC芯片，晶圓數(shù)量各1張

160

2025年03月

高溫集成電路與元器件

高溫集成電路與元器件

140

2025年03月

全自動光學(xué)顯微鏡

全自動光學(xué)顯微鏡1臺

150

2025年04月

新型存儲器刻蝕系統(tǒng)

新型存儲器刻蝕系統(tǒng)1臺

1500

2025年04月

激光發(fā)生裝置

激光發(fā)生裝置

130

2025年04月

12英寸槽式小尺寸高精度橫向濕法刻蝕設(shè)備

12英寸槽式小尺寸高精度橫向濕法刻蝕設(shè)備1臺

3800

2025年04月

數(shù)?；旌暇C合老化系統(tǒng)

數(shù)模混合綜合老化系統(tǒng)1臺

114

2025年04月

穩(wěn)態(tài)熱阻測試系統(tǒng)

穩(wěn)態(tài)熱阻測試系統(tǒng)1臺

115

2025年04月

三維集成封裝動態(tài)數(shù)字全息顯微分析儀

三維集成封裝動態(tài)數(shù)字全息顯微分析儀1臺

252

2025年05月

低溫變頻C-V測試設(shè)備

低溫變頻C-V測試設(shè)備

350

2025年05月

透射電子顯微鏡(TEM)、聚焦離子束顯微鏡(FIB)以及二次離子質(zhì)譜(SIMS)等半導(dǎo)體測試分析

透射電子顯微鏡(TEM)、聚焦離子束顯微鏡(FIB)以及二次離子質(zhì)譜(SIMS)等半導(dǎo)體測試分析

1000

2025年05月

離子刻蝕機

離子刻蝕機1臺

810

2025年05月

光譜檢測儀

日本橫河 AQ6380 光譜檢測儀1 臺

100

2025年06月

低頻阻抗分析儀

低頻阻抗分析儀1 臺

100

2025年06月

X射線光電子能譜儀

X射線光電子能譜儀

900

2025年06月

激光隱形切割成套設(shè)備

激光隱形切割成套設(shè)備

1000

2025年06月

12吋晶圓等離子劃片機

12吋晶圓等離子劃片機

1880

2025年06月

12吋晶圓級激光去膠開槽設(shè)備

12吋晶圓級激光去膠開槽設(shè)備

800

2025年06月

12吋晶圓級無機紅外拆鍵合設(shè)備

12吋晶圓級無機紅外拆鍵合設(shè)備

5300

2025年06月

翹曲測量儀

翹曲測量儀

620

2025年06月

12吋物理氣相沉積設(shè)備

12吋物理氣相沉積設(shè)備

2300

2025年06月

PVTC-A1比容量儀

PVTC-A1比容量儀

245

2025年06月

流片

流片50顆

100

2025年06月

低噪聲高頻信號發(fā)生器

低噪聲高頻信號發(fā)生器1臺

180

2025年06月

high-K介質(zhì)電感耦合等離子體刻蝕設(shè)備

high-K介質(zhì)電感耦合等離子體刻蝕設(shè)備1臺

900

2025年06月

干法去膠機

干法去膠機1臺

200

2025年06月

高深寬比橫向濕法刻蝕設(shè)備

高深寬比橫向濕法刻蝕設(shè)備1臺

1210

2025年06月

金屬及金屬氧化物原子層沉積設(shè)備

金屬及金屬氧化物原子層沉積設(shè)備1臺

1800

2025年06月

金屬及金屬氧化物電感耦合等離子體刻蝕設(shè)備

金屬及金屬氧化物電感耦合等離子體刻蝕設(shè)備1臺

860

2025年06月

等離子體增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備

等離子體增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備1臺

1200

2025年06月
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