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小型化設(shè)計：結(jié)構(gòu)緊湊，主機(jī)尺寸為 300mm（寬）×450mm（深）×450mm（高），占用空間小，方便在實驗室等空間有限的環(huán)境中使用。

內(nèi)置隔振機(jī)構(gòu)：采用浮動結(jié)構(gòu)，能有效抑制振動，確保光刻過程的精度和穩(wěn)定性，無需額外配備復(fù)雜的隔振臺，降低了對使用環(huán)境的要求。

內(nèi)置真空吸油泵：真空吸附功能可以牢固地固定工作臺上的基片或樣品，防止在光刻過程中發(fā)生位移，保證曝光的準(zhǔn)確性。

低使用成本：相比一些大型的光刻設(shè)備，該設(shè)備在能源消耗、維護(hù)成本等方面具有優(yōu)勢，并且不需要使用冷卻液體和壓縮氣體等額外的輔助設(shè)備，降低了使用成本和設(shè)備運行的復(fù)雜性。

用戶友好型接口：操作軟件界面簡潔直觀，易于上手，方便用戶進(jìn)行操作和參數(shù)設(shè)置，即使是非專業(yè)的光刻技術(shù)人員也能快速掌握設(shè)備的使用方法。

簡易流程：光刻操作流程簡單，用戶只需將設(shè)計好的圖形導(dǎo)入軟件，選擇相應(yīng)的曝光參數(shù)，即可進(jìn)行光刻操作，大大提高了工作效率。

支持對準(zhǔn)和曝光條件檢查：對于一些對對準(zhǔn)精度要求較高的光刻工藝，該設(shè)備能夠提供準(zhǔn)確的對準(zhǔn)功能，確保圖形的準(zhǔn)確曝光。同時，用戶可以在軟件中檢查曝光條件，以便及時調(diào)整參數(shù)，保證光刻效果12。

曝光光源：采用 365nm（典型值）的 LED 光源，具有較高的能量穩(wěn)定性和較長的使用壽命，能夠滿足多種光刻膠的曝光需求。

線寬精度：在使用不同物鏡的情況下，可實現(xiàn)不同的最小線寬。例如，在使用 ×10 物鏡時，最小線寬可達(dá) 3μm；使用 ×2 物鏡時，最小線寬為 15μm，能夠滿足微納結(jié)構(gòu)制作的精度要求。

曝光面積：單次曝光面積根據(jù)物鏡的不同有所差異，如使用 ×10 物鏡時，單次曝光面積為 1mm×0.6mm；使用 ×2 物鏡時，單次曝光面積為 5mm×3mm。最大曝光區(qū)域為 25mm×25mm（手動或自動連接），對于一些小型的芯片、微流控器件等的制作具有較好的適用性。

兼容文檔格式：可接受的文檔格式豐富，包括 dxf、jpeg、png、bitmap、xps 等，方便用戶導(dǎo)入各種設(shè)計圖形。