大面積高速測量
半徑僅為0.5um的激光光斑配合高精度XY電動平臺，可在亞微米級（XY=0.1um，Z=0.01um）的精度下一次性測量最大至60x60x10mm的物體。
比如，在測量NIST間隔標準塊時，僅需6分鐘就能測量0.8mm方形區(qū)域（128,000點），相比傳統(tǒng)設備的1小時20分，大大縮短了測量時間。
測量切削后的鏡片表面
基弧曲率半徑的測量
基弧曲率半徑測量的再現(xiàn)性
分析擬合多弧段輪廓的曲率半徑和直徑
表面平整度測量
表面粗糙度測量
技術參數：
機械部分 | ||||
運動軸 | X軸 | Y軸 | Z1軸 （測量用） | Z2軸 （定位用） |
測量范圍 | 60mm | 60mm | 10mm | 60mm |
分辨率 | 0.1um | 0.1um | 0.01um | 0.1um |
標尺方式 | 光柵尺 | 光柵尺 | 光柵尺 | 脈沖控制 |
測量精度 (L=測量距離mm) | (2+4L/100) um | (2+4L/1000) um | (0.3+0.5L/10) um | - |
自動 | 再現(xiàn)性 | σ=0.03μm（鏡面反射樣本） | ||
對焦光斑 | Φ=1um（100X物鏡） | |||
光源 | 半導體激光（635nm，最大1mW，Class-2） | |||
測量物鏡 | 100X（工作距離3.4mm，數值孔徑0.8） 觀察倍率約1100X（19吋顯示器時） | |||
定位物鏡 | 5X（滑動式切換）【視場】 | |||
照明 | 柯勒照明光路（白色LED光源） | |||
其他 | XY載物臺 | 210*210mm | ||
樣品高度 | 最大70mm | |||
樣品重量 | 最大4kg | |||
設備尺寸 | 主機400*400*450mm | |||
防震功能 | 三點式支撐墊（固有頻率：水平方向2.1Hz，垂直方向3.3Hz） | |||
設備重量 | 31Kg | |||
控制部分 | ||||
操作界面 | 電腦（Windows操作系統(tǒng)） | |||
運動控制器 | 四軸控制器（MSCN-4N） | |||
功耗（合計） | 250W | |||
不同測量原理設備的對比表：
對比項目 | PF-60LS | is-830 |
|  | |
測量原理 | 非接觸式 | 非接觸式 |
測量方式 | 單點激光自動對焦反射式 | 光學相干斷層掃描（OCT）層析式 |
測量對象 | 成品鏡片，半成品，模具 | 成品鏡片，半成品，模具 |
測量鏡片 | 硬鏡（RGP、角塑、鞏膜鏡等） | 硬鏡（RGP、角塑、鞏膜鏡等） 軟鏡（水凝膠，硅水凝膠等） |
測量參數 | 表面輪廓，平整度和粗糙度 | 表面輪廓 |
測量介質 | 空氣中 | 空氣中或溶液中 |
表面輪廓擬合 | 有 | 有 |
| 非球面測量與擬合 | 有 | 無 |
| 表面粗糙度功能 | 有 | 無 |
測量光源 | 635nm激光（最大1mW）Class-2 | 830nm激光（2x3mW）Class-3R |
測量區(qū)域（范圍） | 60*60*10mm | Φ20mm*10mm |
測量分辨率 | 水平0.1um，垂直0.01um | 水平1um，垂直0.1um |
測量精度 | 水平2um，垂直0.35um | 水平5um，垂直0.5um （溶液中需乘以50~100倍） |
測量重復性 | σ=0.03μm | 水平10um，垂直0.5um （溶液中需乘以10~20倍） |
主體尺寸 | 400*400*450mm | 160*360*240mm |
主體重量 | 31Kg | 5Kg |
配置 | 測量主體+運動控制箱+PC | 測量主體+激光器箱體+PC |
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