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輪廓儀

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白光干涉表面輪廓儀 產(chǎn)品名稱: 白光干涉表面輪廓儀
產(chǎn)品分類: - 精密量儀
生  產(chǎn) 地: 英國
發(fā)布日期: 2010年3月25日

 
產(chǎn)品簡介:
    Talysurf CCI三維非接觸形貌儀采用CCI(技術(shù)的相干相關(guān)算法)干涉原理,可高精度測(cè)量表面形貌、表面粗糙度及關(guān)鍵尺寸,并計(jì)算關(guān)鍵部位的面積和體積。主要應(yīng)用于數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器件,半導(dǎo)體器件,光學(xué)加工以及MEMS/MOEMS技術(shù)以及材料分析領(lǐng)域。
產(chǎn)品詳情:

產(chǎn)品特點(diǎn)

•的相干相關(guān)算<
•0.01nm分辨<
•10-20秒測(cè)量時(shí)<
•RMS重復(fù)性:0.03A

技術(shù)參數(shù):

(1) 類型(2) 分辨率: 0.1 A
(3) 測(cè)量點(diǎn)數(shù)<1,048,576 ( 1024 x 1024 點(diǎn)陣 )
更詳細(xì)參數(shù)和有關(guān)應(yīng)用問題請(qǐng)垂詢辦事處產(chǎn)品負(fù)責(zé)人<

 

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