P-5 等離子體表面改性處理儀

產(chǎn)品介紹：等離子體表面改性處理儀（P-5）

P-5等離子體表面改性處理儀是一款經(jīng)濟(jì)型的臺(tái)式，該款臺(tái)式提供了許多功能，而這些功能是其它競爭設(shè)備上無法找到的。PE-5臺(tái)式是專門為小型生產(chǎn)企業(yè)，研發(fā)實(shí)驗(yàn)室，檢測中心，大學(xué)研制開發(fā)的。是一款用于等離子體滅菌和表面改性的理想臺(tái)式。

縱覽

該專門用于小規(guī)模的生產(chǎn)企業(yè)，研發(fā)機(jī)構(gòu)和大學(xué)。 該采用了防暴式矩形焊接鋁合金材質(zhì)真空艙，艙體尺寸為15厘米 寬 x 15厘米深 x 10厘米高；并設(shè)置直接供電的射頻（RF）電極。

的應(yīng)用包括醫(yī)療設(shè)備，太陽能電池，印刷電路板，連接器，微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS），納米技術(shù)，晶圓級(jí)封裝，接觸眼鏡以及其他許多相關(guān)的半導(dǎo)體工藝。

特點(diǎn) 

正如所有，P-5采用電容耦合（CCP）平行電極板設(shè)計(jì)，從而zui有效的產(chǎn)生等離子體。

與傳統(tǒng)玻璃/石英圓筒艙不同的是，這些競爭設(shè)備不能穿透真空艙，因此被限制只能使用感應(yīng)耦合的RF線圈纏在腔室的外部。 這是設(shè)置一種低效率方式，導(dǎo)致輸入功率損失及相當(dāng)?shù)偷奈g刻/清潔去除速率。

P-5是由美國制造的部件組裝而成，我們提供的業(yè)內(nèi)客戶服務(wù)和支持。

可用于在精確控制的條件下，對(duì)各種不同材料的表面進(jìn)行改性；從而避免了采用濕法清洗和蝕刻相關(guān)的安全危害和液體廢料排放的問題。如果有效的表面處理效率對(duì)一個(gè)工藝很關(guān)鍵，或?qū)τ谝粋€(gè)產(chǎn)品的可靠性至關(guān)重要的話，等離子技術(shù)可以提供解決方案。

P-5被用于去除有機(jī)和無機(jī)污染物，提高潤濕性，提高粘結(jié)強(qiáng)度，并除去殘留物。 該工藝可用于各種產(chǎn)品中使用的材料，并認(rèn)為是一種是有效的方式。

規(guī)格

標(biāo)準(zhǔn)配置

鋁合金真空艙：5厘米 寬 x 15厘米深 x 10厘米高
電極設(shè)置：單套 12.7 X 12.7厘米水平電極
射頻電源：125瓦@50kHz射頻電源
工藝氣體控制：精密針形閥流量控制0-25 CC /分鐘
真空監(jiān)測系統(tǒng)：皮拉尼真空計(jì)0-1托
真空系統(tǒng)：5CFM氧氣真空泵 （可與氧氣等活性氣體適配）
工藝存儲(chǔ)：單處理順序

可選配配置
射頻電源：100W@13.56MHz 射頻（RF）電源和自動(dòng)匹配器網(wǎng)絡(luò)
燈條
精密質(zhì)量流量計(jì)
更大真空艙可選配
更大平行電極可選配

機(jī)電信息
電源： 220VAC，50Hz@ 14A
系統(tǒng)主機(jī)毛重：25公斤
真空泵毛重：15公斤
系統(tǒng)主機(jī)尺寸：36厘米 X 36厘米 X 46厘米
真空泵浦尺寸：18厘米×41厘米