氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng)
- 公司名稱 天津中環(huán)實(shí)驗(yàn)電爐有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 天津市北辰區(qū)科技園區(qū)雙川道11號(hào)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2017/6/22 6:07:10
- 訪問(wèn)次數(shù) 579
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CVD系統(tǒng)，石墨烯制備系統(tǒng)，真空氣氛管式爐，旋轉(zhuǎn)管式爐，多工位回轉(zhuǎn)爐，箱式馬弗爐，快速退火爐，立式管式爐，干燥箱，高溫氣氛箱式爐，半導(dǎo)體CVD
一、操作便捷性：
1、方便的氣路快速連接口，簡(jiǎn)化了流量控制系統(tǒng)與其他設(shè)備的鏈接。
2、配置有三種接口（寶塔式接口、雙卡套式接口、KF接口），方便組合多種連接方式。
二、控制智能化：
1、采用玻璃轉(zhuǎn)子流量控制器，能直觀地設(shè)定氣體流量，方便使用（氣體浮子流量控制系統(tǒng)）。
2、采用數(shù)顯流量顯示儀，配合質(zhì)量流量控制器，采集數(shù)據(jù)并控制流量。具有控制精度高，重復(fù)性好，響應(yīng)速度快，穩(wěn)定可靠等特點(diǎn)（氣體質(zhì)量流量控制器） 。
三、使用安全性：
1、采用單向閥技術(shù)，使氣體流量在可控壓力范圍內(nèi)控制，保證安全。
2、采用混氣灌裝置，使氣體可以在充分混合后導(dǎo)入工作室內(nèi)，確保不會(huì)漏氣。
四、周邊拓展性：
1、該氣體質(zhì)量控制系統(tǒng)可配我公司生產(chǎn)的真空/氣氛管式電爐及真空/氣氛箱式電爐使用。
2、該氣體流量控制系統(tǒng)可以與我公司生產(chǎn)的真空控制系統(tǒng)組合使用。
3、可為用戶定制多路氣路產(chǎn)品。
產(chǎn)品用途：該系列產(chǎn)品系周期作業(yè)，供企業(yè)實(shí)驗(yàn)室、大專院校、科研院所等單位選用。設(shè)備為用戶提供具有可控氣氛的實(shí)驗(yàn)環(huán)境。
地址：天津市北辰區(qū)科技園區(qū)雙川道11號(hào)
： 4000221116
： zhonghuandianlu
： www.ctjzh.net
技術(shù)參數(shù)：
| 名 稱 | 兩路 氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng) | 三路 氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng) | 四路 |
| 產(chǎn)品型號(hào) | ZL-02H | ZL-03H | ZL-04H |
| 氣路數(shù)量 | 兩路 | 三路 | 四路 |
| 流量控制方式 | 自動(dòng)控制 | ||
| 連接方式 | 雙卡套接頭 | ||
| 流量計(jì) | 質(zhì)量流量計(jì) | ||
| 流量范圍 | 0-500sccm（標(biāo)準(zhǔn)毫升/分）氮?dú)鈽?biāo)定 | ||
| 精 度 | ±1%F.S | ||
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤4S | ||
| 工作溫度 | 20-120℃ | ||
| 工作壓力 | 進(jìn)氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力) | ||
| 外形尺寸 | 530x770x750mm | ||
| 重 量 | 48Kg | ||
| 標(biāo)準(zhǔn)配件 | PUΦ6mm管、每路2米Φ4x15MM不銹鋼襯管5個(gè) | ||
| 質(zhì)量保正 | 整機(jī)保修1年 | ||
| 配套產(chǎn)品 | SK系列真空/氣氛管式電爐、SX系列真空/氣氛管式電爐、真空規(guī)管、氣體流量控制柜 | ||
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