1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-GSL-1700X-4-HVC

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公司名稱 中美合資合肥科晶材料技術(shù)有限公司
品牌
型號(hào)
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間 2025/2/10 18:07:17
訪問次數(shù) 4021

產(chǎn)品標(biāo)簽

1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-HVC CVD

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公司介紹 主營(yíng)產(chǎn)品

　　合肥科晶材料技術(shù)有限公司成立于1997年，是由一群來自麻省理工學(xué)院和加州大學(xué)伯克利分校的材料研究人員創(chuàng)辦的美國(guó)MTI公司與中科院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院合資興辦的高新技術(shù)企業(yè)。主要生產(chǎn)氧化物晶體(A--Z)和材料實(shí)驗(yàn)室成套設(shè)備：包括“混料-壓料-燒料”(混料機(jī)、壓片機(jī)、箱式爐、真空管式爐)以及“定向-切割-研磨-拋光”(X射線定向儀、低速外圓鋸、金剛石線切割機(jī)、自動(dòng)研磨、拋光機(jī))。公司自主研發(fā)生產(chǎn)上百款不同規(guī)格尺寸、溫度、高溫高壓及快速升溫等產(chǎn)品，其中包括：箱式爐、氣氛爐、管式爐、井式爐、RTP快速升溫爐、高溫高壓爐、鍍膜機(jī)、清洗劑及新能源鋰離子電池研發(fā)等相關(guān)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備?，F(xiàn)已成為氧化物晶體(A--Z)的主要制造商和材料研究實(shí)驗(yàn)室設(shè)備的*，為科研工作者提供材料研究解決方案。產(chǎn)品設(shè)計(jì)*、性能優(yōu)異，質(zhì)量可靠，性價(jià)比高，環(huán)保節(jié)能、返修率低，遠(yuǎn)銷到歐洲，美國(guó)，日本，德國(guó)等許多國(guó)家，廣泛應(yīng)用于物理、化學(xué)、冶金、醫(yī)學(xué)、新能源材料研發(fā)等領(lǐng)域，受到客戶*好評(píng)。

　　科晶公司秉承"以人為本、技術(shù)為導(dǎo)、誠(chéng)信為基、積極創(chuàng)新"的經(jīng)營(yíng)理念,全力打造材料研發(fā)設(shè)備的品牌,竭力為科學(xué)進(jìn)步和社會(huì)發(fā)展做出貢獻(xiàn)。

展開

真空管式爐，高溫箱式爐，高速震動(dòng)球磨機(jī)，RTP快速退火爐，高溫高壓爐，涂覆機(jī)，電池制備設(shè)備等

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

GSL-1700X-4-HVC是一款CE認(rèn)證的二通道高真空CVD系統(tǒng)，其爐管直徑為4英寸，它是由二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成，其zui高工作溫度可達(dá)1600℃，極限真空度可達(dá) to 10^-5 torr?；鞖庀到y(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行精確的混氣，然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。

技術(shù)參數(shù)

GSL-1700X 系列管式爐

殼體

采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷，使得殼體表面的溫度 < 55°C.
內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命
保溫材料采用高純氧化鋁纖維，環(huán)保節(jié)能，減少熱量的損失
真空泵和氣體混合系統(tǒng)位于移動(dòng)架上，方便移動(dòng).
儀器上已經(jīng)安裝高真空法蘭，閥門，高真空機(jī)組

爐管

材質(zhì): 高純氧化鋁陶瓷管
一根高純氧化鋁陶瓷管已經(jīng)安裝在爐子上
4.1 "OD x 3.625 " ID x 40 " L (99.8%)

功率

6KW

工作電壓

AC 208-240V單相, 50/60Hz

加熱元件

8 根1800°C grade MoSi2 heating element

工作溫度

zui高工作溫度.: 1650°C
連續(xù)工作溫度.: 1600°C

升溫速率

<=5°C/min

加熱區(qū)長(zhǎng)度

加熱區(qū)長(zhǎng)度: 457 mm (18")
恒溫區(qū)長(zhǎng)度: 150 mm (6")(+/-1°C)

溫控系統(tǒng)

采用PID方式自動(dòng)控制，并可設(shè)置30段升降溫程序
控溫精度: ±1°C
控溫儀表操作視頻
熱電偶: B 型，已經(jīng)安裝在爐內(nèi)

真空法蘭

一對(duì)不銹鋼真空密封法蘭已經(jīng)安裝
法蘭上帶有一機(jī)械壓力表
兩個(gè)精密針閥
一個(gè)KF-25連接器和KF-25 轉(zhuǎn) KF-40 抽氣接口
一個(gè)1/4"卡套接頭

外形尺寸

550 x 380 x 520mm

高真空機(jī)組

功率

100~110W

工作電壓

AC 208-240V單相, 50/60Hz

外形尺寸

600(L) x 600(W) x 700(H), mm

殼體

殼體尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
zui大承載量: 600 Lbs on top
分子泵控制面板: LCD 數(shù)字顯示
內(nèi)裝有一 Pfeiffer vacuum pump made in Germany:

控制面板

一鍵操作：按下"start" 鍵后，隔膜泵和渦輪分子泵將會(huì)啟動(dòng)（隔膜泵先啟動(dòng)等真空度達(dá)到10-2mbar后，分子泵自動(dòng)啟動(dòng)）
系統(tǒng)控制旋轉(zhuǎn)速率：根據(jù)腔體內(nèi)的真空度，系統(tǒng)自動(dòng)控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率