AL120 顯微鏡

AL120晶圓搬送機(jī)可對(duì)應(yīng)200mm以下晶圓尺寸的硅、化合物晶圓，可以安全高效搬送薄片晶圓，非常適合于前道到后道工程的晶圓檢查。

適應(yīng)范圍廣、搭配靈活

我們推出了200 mm專用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型（對(duì)應(yīng)小于150 mm的晶圓）的3種型號(hào)。除此以外，您還可以根據(jù)檢查模式，選用微觀檢查專用型號(hào)"L型"或微觀•宏觀檢查兼用型號(hào)"LMB型"。

薄片檢查

對(duì)應(yīng)薄片制造廠家的需求，AL120-LMB-90搭載的新型搬送手臂的設(shè)計(jì)可以搬運(yùn)整盒25枚90 μm的極薄晶圓。

高度實(shí)用性

進(jìn)一步優(yōu)化的宏觀檢查

宏觀檢查手臂可以360゜旋轉(zhuǎn)，更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵。

利用360゜旋轉(zhuǎn)功能，可以目視檢查整個(gè)晶圓（包括邊緣）。此外，在表面宏觀檢查中，使用操縱桿可隨意將晶圓z大傾斜30゜進(jìn)行觀察。

操作便捷

了滿足各種常規(guī)檢查的要求，AL120可以登記多達(dá)10個(gè)檢查程序。使用這一功能可以記錄特定的卡盒、晶圓和傳輸速度?？焖俨藛芜x擇按鈕則可以讓操作員立刻切換不同程序。

晶圓搬送機(jī)的菜單設(shè)置和設(shè)置參數(shù)都會(huì)在新型的LCD顯示器上顯示。 使用RECALL按鈕可以顯示檢查時(shí)登記的有缺陷的對(duì)應(yīng)SLOT，便于操作者再次確認(rèn)。

AL120使用非接觸光學(xué)定位、查找和對(duì)齊缺口／平面，可以減少晶圓和設(shè)備之間的接觸，提高晶圓的清潔度。

高度可靠性

優(yōu)先考慮晶圓和操作者的安全

為了能夠安全的安裝晶圓，采用了在裝置正面放置片盒的設(shè)計(jì)。

在安全性和人機(jī)工學(xué)上通過(guò)了SEMI S2/S8檢測(cè)，同時(shí)，在環(huán)境保護(hù)方面遵守了RoHS指令。

堅(jiān)固、耐用的顯微鏡底座

AL120搭載奧林巴斯MX專業(yè)晶圓檢查顯微鏡系列，通過(guò)各種觀測(cè)方法，包括：明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)、微分干涉（DIC）、近IR（近紅外線）和DUV（深紫外線），實(shí)現(xiàn)了很好的圖像分辨率和清晰度。電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器和孔徑光闌相互鎖定，可以優(yōu)化各物鏡的照明和對(duì)比度。如果特別訂制，AL120還可以應(yīng)用到其他型號(hào)的顯微鏡上。

人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)的載物臺(tái)

手動(dòng)快速釋放真空載物臺(tái)可以提高操作員的舒適度和工作效率，標(biāo)準(zhǔn)功能為XY軸控制和晶圓旋轉(zhuǎn)功能。

可通過(guò)操縱桿或預(yù)編程的程序控制電動(dòng)載物臺(tái)，進(jìn)一步將檢查過(guò)程自動(dòng)化。只需一鍵便可驅(qū)動(dòng)載物臺(tái)返回或離開(kāi)load/unload位置及原點(diǎn)位置。