Tergeo 美國(guó)PIE等離子清洗機(jī)
- 公司名稱 邁可諾技術(shù)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) Tergeo
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/5/16 16:49:28
- 訪問(wèn)次數(shù) 2894
基本型等離子擴(kuò)展型等離子清洗機(jī)等離子體表面處理Plasma Cleaner等離子清洗機(jī)系統(tǒng)
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勻膠機(jī)，光刻機(jī)，顯影機(jī)，等離子清洗機(jī)，紫外臭氧清洗機(jī)，紫外固化箱，壓片機(jī)，等離子去膠機(jī)，刻蝕機(jī)，加熱板
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子 |
二、美國(guó)PIE等離子清洗機(jī)的特點(diǎn)
1、13.56MHz高頻射頻發(fā)生器；
2、7英寸觸摸屏控制界面，全自動(dòng)操作；
3、標(biāo)配75W版本，可選150W版本；
4、系統(tǒng)具有雙等離子源。浸入式等離子源用于主動(dòng)表面處理、光刻膠蝕刻。遠(yuǎn)程式等離子源用于溫和的污染清除以及脆弱易損樣品的表面活化。
三、美國(guó)PIE等離子清洗機(jī)技術(shù)參數(shù)
1、控制系統(tǒng)
1）操作界面：7英寸電阻觸摸屏操作界面，支持多種工作方式。
2）程序控制：可編程，總共有20個(gè)程序，每個(gè)程序有3個(gè)清潔步驟。
2、反應(yīng)腔體
1）腔體材質(zhì)：圓柱形石英玻璃艙；
2）腔體容積：2.6L；
3）腔體尺寸：內(nèi)徑：110毫米，深度：280毫米。
3、射頻電源
1）射頻頻率：13.56MHz；
2）射頻功率：標(biāo)配0~75W；從0瓦到75瓦之間以1瓦間距連續(xù)可調(diào)，可選0~150W；。
4、等離子源
1）等離子強(qiáng)度探測(cè)器實(shí)時(shí)測(cè)量等離子源強(qiáng)度。
2）外置電極設(shè)計(jì)，高壓電極不合等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染。
5、氣體控制
1）氣路控制：標(biāo)配一路MFC；可選配三路MFC；
2）質(zhì)量流量計(jì)可以在0~100sccm之間準(zhǔn)確控制氣體流量；
3）一路(Venting and purging)氣體入口用來(lái)快速給樣品室放氣和沖走殘余處理氣體。
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