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等離子體發(fā)生器的放電原理
- 公司名稱 北京歐倍爾科學(xué)儀器有限公司
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- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2018/3/26 15:10:07
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等離子體發(fā)生器利用外加電場(chǎng)或高頻感應(yīng)電場(chǎng)使氣體導(dǎo)電,稱為氣體放電。氣體放電是等離子體發(fā)生器產(chǎn)生等離子體的重要手段之一。等離子發(fā)生器被外加電場(chǎng)加速的部分電離氣體中的電子與中性分子碰撞,把從電場(chǎng)得到的能量傳給氣體。電子與中性分子的彈性碰撞導(dǎo)致分子動(dòng)能增加,表現(xiàn)為溫度升高;而非彈性碰撞則導(dǎo)致激發(fā)(分子或原子中的電子由低能級(jí)躍遷到高能級(jí))、離解(分子分解為原子)或電離(分子或原子的外層電子由束縛態(tài)變?yōu)樽杂呻娮樱?。高溫氣體通過(guò)傳導(dǎo)、對(duì)流和輻射把能量傳給周圍環(huán)境,在定常條件下,給等離子體發(fā)生器定容積中的輸入能量和損失能量相等。電子和重粒子(離子、分子和原子)間能量傳遞的速率與碰撞頻率(單位時(shí)間內(nèi)碰撞的次數(shù))成正比。在稠密氣體中,碰撞頻繁,兩類粒子的平均動(dòng)能(即溫度)很容易達(dá)到平衡,因此等離子發(fā)生器電子溫度和氣體溫度大致相等,這是氣壓在一個(gè)大氣壓以上時(shí)的通常情況,一般稱為熱等離子體或平衡等離子體。在低氣壓條件下,碰撞很少,電子從電場(chǎng)得到的能量不容易傳給重粒子,此時(shí)電子溫度高于氣體溫度,通常稱為冷等離子體或非平衡等離子體。等離子體發(fā)生器的兩類等離子體各有特點(diǎn)和用途。
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