KW-4T 勻膠機(jī) 涂膠機(jī)

KW-4T勻膠機(jī) 涂膠機(jī)用于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO 導(dǎo)電玻璃 等工藝，制版的表面涂覆，具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動(dòng)迅速等優(yōu)點(diǎn)，保證涂膠厚度的 一致性和均勻性。

技術(shù)參數(shù)及要求：

基片尺寸：Φ5-Φ100mm 圓片，最大 100×100mm2方片

轉(zhuǎn)速：250-9000RPM

旋涂設(shè)置：任意階段之間均可任意升降調(diào)節(jié)

轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：<±1%

旋涂均勻性：<1%

旋涂工藝階段：6 段

旋涂時(shí)間：?jiǎn)尾焦に?nbsp;0-1800s，可根據(jù)客戶需求調(diào)節(jié)

整機(jī)尺寸（長(zhǎng)寬高）：210mm×280mm×248mm

裸機(jī)尺寸（長(zhǎng)寬高）：210mm×280mm×155mm

電機(jī)功率：40W

適應(yīng)材料：硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs、GaN、InP 等各種材料

KW-4T勻膠機(jī) 涂膠機(jī)配套無油真空泵參數(shù)：

 型號(hào)：KW-550A/KW-550T

抽速：1.5 升/秒

抽氣速率：>60L/min

功率：320W

噪音：50db

真空度：-700mmHg

重量：7.3Kg

尺寸(長(zhǎng)寬高)：240mm×160mm×230mm