真空紫外分光光度計(jì)V1000

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公司名稱 沈陽佳士科商貿(mào)有限公司
品牌 其他品牌
型號
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
更新時(shí)間 2019/3/3 19:37:53
訪問次數(shù) 520

產(chǎn)品標(biāo)簽

真空紫外分光光度計(jì)

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價(jià)格區(qū)間	25萬-35萬	接收器類	CMOS
儀器結(jié)構(gòu)	雙波長	自動程度	自動波長

真空紫外分光光度計(jì)V1000用于115nm～300nm波長范圍的光學(xué)特性評價(jià)。在真空紫外領(lǐng)域，因?yàn)檠鯕獾脑蛴泻軓?qiáng)的吸收，以前都是將光路做成真空測量，但是V-1000采用吹掃性能好的機(jī)箱，可以進(jìn)行氮?dú)獯祾吆鬁y量，樣品設(shè)置到測量開始可在短時(shí)間內(nèi)完成。另外，因?yàn)橐p單色器所以除去雜射光，監(jiān)控雙光束方式提高測光再現(xiàn)性。因此，在157nm實(shí)現(xiàn)0.03%的測光再現(xiàn)性。

真空紫外分光光度計(jì)V1000

規(guī)格

▼V-1000

	V-1000
光源	氘燈(D2)
分光器	凹面回折格子雙單色器、雙光束方式
入射角度	透過率5°、45°入射反射率（標(biāo)準(zhǔn)）
波長范圍	115～300 nm
測光再現(xiàn)性	157nm附近、標(biāo)準(zhǔn)偏差:σ=0.03%以下 (對于70%以上透過材料)
選項(xiàng)測量	測量反射率、測量偏光

大規(guī)模集成電路（Large Scale Integrated circuit）LSI的高集成化使制造過程的微型化進(jìn)一步發(fā)展，伴隨這個(gè)趨勢光刻使用光源的波長向短波長推移，現(xiàn)在ArF激光(193nm)是主流。為了對應(yīng)微細(xì)化線寬0.07μm，研究了F2激光(157nm)實(shí)用化。因此，有必要對光刻機(jī)上使用的鏡頭以及反光鏡等光學(xué)部件在真空紫外領(lǐng)域的光學(xué)特性進(jìn)行正確的評價(jià)。

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