Alicat MCD/MCRD系列雙向質(zhì)量流量計(jì)

Alicat MCD/MCRD系列雙向質(zhì)量流量計(jì)可控制正、反兩個(gè)方向的質(zhì)量流量控制器，可控制低至2.5微升的流量。

Alicat MCD/MCRD系列雙向質(zhì)量流量計(jì)：快速、精確地控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特R系列閥門(mén)為****、接近零摩擦的滾軸閥門(mén)，精密控制大流量氣體，*的孔板模式可實(shí)現(xiàn)根據(jù)不同的應(yīng)用要求量身定制閥門(mén)滾軸。

Alicat MCDW/MCRDW 低壓損雙向質(zhì)量流量控制器：**限度減小壓損對(duì)系統(tǒng)的影響，滿(mǎn)量程壓損**僅為4mbar(0.06 psid)。艾里卡特Whisper低壓損系列質(zhì)量流量控制器可控制壓力接近大氣壓的氣體流量，是航空航天、環(huán)境氣體分析等應(yīng)用的**選擇，**量程：-500至+500 slpm。

MCDS/MCRDS 耐腐蝕雙向質(zhì)量流量控制器：采用316L不銹鋼結(jié)構(gòu)以抵擋NH3、H2S、SiH4等腐蝕性氣體， “主要參數(shù)”欄目下方可查看設(shè)備預(yù)置腐蝕性氣體列表，量程范圍：-3000 至 +3000 slpm。

標(biāo)準(zhǔn)精度 (NIST可溯源): +/- (0.8% Rdg + 0.2% F.S)
高精度 (選配): +/- (0.4% Rdg + 0.2% F.S)
以上精度適用于所有預(yù)置氣體及通過(guò)氣體編輯器(COMPOSER™)生成的自定義氣體
標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù): 50 毫秒
大流量質(zhì)量控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù): 100 毫秒 (MCRD/MCRWD/MCRDS系列)
多氣體標(biāo)定: 氣體選擇(Gas Select™)5.0版預(yù)置多達(dá)130種常用氣體，另內(nèi)置氣體編輯器(COMPOSER™)軟件
滿(mǎn)量程范圍: 從-0.5～+0.5 sccm 到 -3000～+3000 slpm
常規(guī)設(shè)備線(xiàn)性范圍: ±0.5～* F.S, 量程可調(diào)比 200:1
316L結(jié)構(gòu)設(shè)備線(xiàn)性范圍: ±1～* F.S, 量程可調(diào)比 100:1 (MCDS/MCRDS)
**允許管路壓力: 145 psig (標(biāo)準(zhǔn)) / 50 psig (低壓損MCDW/MCRDW)
常規(guī)設(shè)備滿(mǎn)量程壓損: 1-29 psi, 取決于流量范圍
“Whisper” 低壓損系列(MCDW/MCRDW)滿(mǎn)量程壓損: 0.06-0.69, 取決于流量范圍
標(biāo)準(zhǔn)通訊方式: RS-232數(shù)字通訊和0-5v模擬通訊
選配模擬通訊: 1-5v, 0-10v, 4-20 mA; 第二道模擬輸出信號(hào)可選
選配通訊協(xié)議: RS-485, Modbus RTU (基于RS-232或RS-485), PROFIBUS
通訊接口: 8針mini-DIN
選配通訊接口: 9針或15針D-sub接口, 可定制引腳分配
動(dòng)態(tài)顯示設(shè)定值、質(zhì)量流量、體積流量、**壓力和溫度等參數(shù)
標(biāo)準(zhǔn)顯示屏: 2.1″ 單色LCD數(shù)字式觸摸顯示屏
選配顯示屏: 2.1″ 背光彩色TFT數(shù)字式觸摸顯示屏
有條件的終身質(zhì)保
對(duì)撞擊、潮濕環(huán)境、安裝方向等不敏感

MCDD-0.5SCCM-D/5M,5IN,GAS:Air，數(shù)字顯示，精度1%，0-5V輸入輸出，空氣，雙向控制（可選則：輸入輸出方式與參數(shù)、報(bào)警、氣體種類(lèi)、累積器）