掃描電鏡

特點(diǎn)
◆ 掃描電鏡臺(tái)式設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊。采用防振底盤(pán)，有效防止振動(dòng)引起的畫(huà)質(zhì)問(wèn)題
◆  操作方便，簡(jiǎn)單易學(xué)，具有任何人都可以簡(jiǎn)便使用的自動(dòng)調(diào)節(jié)功能
◆ 性能價(jià)格比高
◆ 對(duì)環(huán)境、電源要求低
◆ 景深大，立體結(jié)構(gòu)觀察。圖象質(zhì)量高，能獲得高分辨率和高襯度的圖像
◆ 抽真空速度快，開(kāi)機(jī)及換樣抽真空都可在三分鐘完成。
◆ 可整體移動(dòng)儀器，方便使用
◆ 應(yīng)用領(lǐng)域范圍寬
技術(shù)指標(biāo)
1．掃描電鏡放大倍數(shù)范圍大（10X～ 15000X Digital Zoom:2x,4x，數(shù)字變焦120,000X）
2．分辯率：15nm
3．加速電壓： 1kv – 15kv
4．探測(cè)器： SEI（二次電子探測(cè)器），BEI（背散射電子探測(cè)器）/EDS(能譜儀)
5．圖像大小： 4096×4096
6．圖像格式： JPG，TIFF，BMP，PNG
7．?dāng)?shù)據(jù)顯示： Micron Bar, Magnificaiton, Date, Kv
8．電壓： 110v或220v
9．自動(dòng)操作，自動(dòng)加高壓、調(diào)燈絲電流等
10．具有自動(dòng)圖像調(diào)整功能（自動(dòng)亮度/對(duì)比度，自動(dòng)聚焦，自動(dòng)消像散等）
11．移動(dòng)范圍寬（X:20mm, Y:20mm, R:360, 高度可調(diào)）
12．腔室盡寸大（zei大樣品直徑為75 mm，樣品高度為15 mm，但通過(guò)定制樣品座可觀察更大樣品高度）
13．圖像儲(chǔ)存像素大（640×480, 1280×960, 2560×1920）
14．全自動(dòng)抽真空(渦輪分子泵+機(jī)械泵)，無(wú)需冷卻循環(huán)水
15．預(yù)對(duì)中燈絲
16．可選性強(qiáng)，可選配能譜儀EDS/波譜儀WDS
17．具有二次電子探測(cè)器(與通常大電鏡使用的探測(cè)器同，圖像質(zhì)量好)，背散射電子探測(cè)器可選
18．NanoAnalysis軟件可選模塊，功能強(qiáng)大：
u 圖像獲取模塊
圖像處理
圖像分析
圖像操作
圖像過(guò)濾
粒子計(jì)數(shù)&篩分
熱成像
圖像測(cè)量/標(biāo)注
易于生成報(bào)告
自動(dòng)保存
u 元素分布圖
標(biāo)準(zhǔn)元素分布圖
超快繪圖
線掃描
點(diǎn)模式&多點(diǎn)
自動(dòng)分析（每個(gè)像素的圖譜）
ColorSEM-快速成像
重點(diǎn)成像
熱成像
容易生成報(bào)告
自動(dòng)保存
u 高級(jí)特征
  化學(xué)鑒定
  痕量靈敏度分析
  關(guān)鍵測(cè)量
  3D成像
  3D測(cè)量
  自動(dòng)分析（每個(gè)像素的譜圖）
  遠(yuǎn)程會(huì)議
  立體成像
  同步分析