CIF-SEM CIF掃描電鏡等離子清洗機(jī)
- 公司名稱(chēng) 賽萊博（北京）科技有限公司
- 品牌 CIF
- 型號(hào) CIF-SEM
- 產(chǎn)地
- 廠(chǎng)商性質(zhì) 生產(chǎn)廠(chǎng)家
- 更新時(shí)間 2020/4/3 9:47:55
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 415
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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 10萬(wàn)-20萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,食品,化工,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè) |
CIF掃描電鏡等離子清洗機(jī)
CIF 掃描電鏡（SEM）等離子清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程、原位雙等離子清洗源設(shè)計(jì)，并可自動(dòng)切換，一機(jī)多用。遠(yuǎn)程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷，同時(shí)可實(shí)現(xiàn)常規(guī)等離子清洗。主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內(nèi)碳?xì)浠衔锏那逑础?/span>
產(chǎn)品特點(diǎn)
- 雙等離子清洗源
- 一機(jī)多用
- 高效低損傷
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào) | CIF-SEM |
法蘭接口 | KF40 |
工作氣壓 | 0.3-3Pa |
等離子電源 | 13.56MHz射頻電源，射頻功率5-100W可調(diào)，自動(dòng)匹配器 |
氣體控制 | 標(biāo)配雙路50毫升/分氣體質(zhì)量流量控制器（MFC），精確測(cè)量自動(dòng)控制氣體流量，不會(huì)受環(huán)境溫度和壓力變化影響 |
氣源選擇 | 根據(jù)需求氧氣、氬氣、氮?dú)狻錃獾榷喾N清洗氣源選擇 |
真空控制 | 美國(guó)MKS公司925-12010皮拉尼真空計(jì)， 測(cè)量范圍1E-5Torr |
真空保證 | 真空計(jì)和電磁閥安全互鎖 |
操控方式 | 7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動(dòng)操作界面 |
電源/功率 | 220V，50/60Hz，300W |
可選配件 | 可選氧氣、氮?dú)?、氫氣發(fā)生器， 氫氣純度﹥99.999％，輸出流量0-300ml/min |
質(zhì)量保證 | 二年質(zhì)保，終身維護(hù) |
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