OPTM 薄膜測(cè)厚儀
- 公司名稱 大塚電子（蘇州）有限公司
- 品牌 OTSUKA/日本大塚
- 型號(hào) OPTM
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2020/6/12 16:00:58
- 訪問(wèn)次數(shù) 2699
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zeta電位?粒徑?分子量測(cè)量系統(tǒng)，晶圓在線測(cè)厚系統(tǒng)，線掃描膜厚儀，顯微分光膜厚儀，線掃描膜厚儀，分光干涉式晶圓膜厚儀，相位差膜?光學(xué)材料檢測(cè)設(shè)備，非接觸光學(xué)膜厚儀，小角激光散射儀，多檢體納米粒徑量測(cè)系統(tǒng)，量子效率測(cè)量系統(tǒng)
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 50萬(wàn)-100萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,印刷包裝,汽車,電氣 |
OPTM series薄膜測(cè)厚儀
大塚電子薄膜測(cè)厚儀使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過(guò)反射率進(jìn)行測(cè)量，可進(jìn)行高精度膜厚度/光學(xué)常數(shù)分析。
可通過(guò)非破壞性和非接觸方式測(cè)量涂膜的厚度，例如各種膜、晶片、光學(xué)材料和多層膜。 測(cè)量時(shí)間上，能達(dá)到1秒/點(diǎn)的高速測(cè)量，并且搭載了即使是初次使用的用戶，也可容易出分析光學(xué)常數(shù)的軟件
特點(diǎn)
- 頭部集成了薄膜厚度測(cè)量所需功能
- 通過(guò)顯微光譜法測(cè)量高精度反射率（多層膜厚度，光學(xué)常數(shù)）
- 1點(diǎn)1秒高速測(cè)量
- 顯微分光下廣范圍的光學(xué)系統(tǒng)（紫外至近紅外）
- 區(qū)域傳感器的安全機(jī)制
- 易于分析向?qū)?，初學(xué)者也能夠進(jìn)行光學(xué)常數(shù)分析
- 獨(dú)立測(cè)量頭對(duì)應(yīng)各種inline客制化需求
- 支持各種自定義
OPTM-A1 | OPTM-A2 | OPTM-A3 | |
波長(zhǎng)范圍 | 230 ~ 800 nm | 360 ~ 1100 nm | 900 ~ 1600 nm |
膜厚范圍 | 1nm ~ 35μm | 7nm ~ 49μm | 16nm ~ 92μm |
測(cè)定時(shí)間 | 1秒 / 1點(diǎn) | ||
光斑大小 | 10μm (小約5μm) | ||
感光元件 | CCD | InGaAs | |
光源規(guī)格 | 氘燈+鹵素?zé)? | 鹵素?zé)?/span> | |
電源規(guī)格 | AC100V±10V 750VA（自動(dòng)樣品臺(tái)規(guī)格） | ||
尺寸 | 555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動(dòng)樣品臺(tái)規(guī)格之主體部分) | ||
重量 | 約 55kg（自動(dòng)樣品臺(tái)規(guī)格之主體部分） | ||
測(cè)量項(xiàng)目：
- 反射率測(cè)量
- 多層膜解析
- 光學(xué)常數(shù)分析（n：折射率，k：消光系數(shù)）
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