Transpector CPM 氣體分析系統(tǒng)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱(chēng) 英?？担◤V州）真空儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠(chǎng)商性質(zhì) 生產(chǎn)廠(chǎng)家
- 更新時(shí)間 2020/6/21 8:53:03
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 205
產(chǎn)品標(biāo)簽
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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè) |
|---|
特征概覽:
- Transpector CPM 氣體分析系統(tǒng)用于監(jiān)測(cè)復(fù)雜工藝制程四極質(zhì)譜分析儀系統(tǒng)，檢測(cè)范圍：0-100，0-200和0-300amu
- 允許7天24小時(shí)連續(xù)監(jiān)控，提高產(chǎn)品良率及產(chǎn)能，降低生產(chǎn)成本
- 緊湊型設(shè)計(jì)可安裝于每個(gè)高壓強(qiáng)真空系統(tǒng)
- HexBlock TM 取樣系統(tǒng)使系統(tǒng)性能佳化
- 內(nèi)置壓力傳感器（CDG），用于工藝壓強(qiáng)監(jiān)測(cè)和提供聯(lián)鎖保護(hù)
- 備用可選的標(biāo)準(zhǔn)氣體，用于調(diào)諧和校正
- 封閉式離子源可阻擋腐蝕性氣體和反應(yīng)性氣體，并可檢測(cè)ppm量級(jí)的污染物
- 重量輕，易搬運(yùn)
Transpector CPM 氣體分析系統(tǒng)應(yīng)用：
- 高壓強(qiáng)真空系統(tǒng)（< 2個(gè)大氣壓）檢漏，氣體純度，污染檢測(cè)，工藝制程監(jiān)控及刻蝕終點(diǎn)探測(cè) （Endpoint），涉及領(lǐng)域：材料，傳統(tǒng)高壓強(qiáng)真空系統(tǒng)，半導(dǎo)體，平板顯示器及太陽(yáng)能等行業(yè)PVD，CVD及刻蝕系統(tǒng)
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