GM1010/GM1020/GM1075 EM Resist SU-8負(fù)性抗蝕劑

EM Resist SU-8負(fù)性抗蝕劑產(chǎn)品，非常適合半導(dǎo)體應(yīng)用。我們的產(chǎn)品有各種形式和厚度范圍。

產(chǎn)品                  膜厚范圍            涂層選項(xiàng)

GM1010           <0.2微米           噴涂外套

GM1020           0.2-0.5微米      旋轉(zhuǎn)，噴涂，噴墨

GM1030           0.5-1.2微米      旋轉(zhuǎn)，噴涂，噴墨

GM1040           0.9-3.2微米      旋轉(zhuǎn)，噴涂，噴墨

GM1050            3-8微米              旋轉(zhuǎn)，噴墨

GM1060            2-27微米            旋轉(zhuǎn)，噴墨

GM1070           15-200微米         旋轉(zhuǎn)，噴墨

GM1075           100-400微米       旋轉(zhuǎn)，噴墨

小訂購(gòu)量為250mL

SML Resist是一種高分辨率，高縱橫比的正色調(diào)電子束抗蝕劑。EM Resist SU-8負(fù)性抗蝕劑具有出色的附著力和出色的抗干蝕刻性。SML可用于MEMS，波帶片，光子學(xué)和許多其他納米加工應(yīng)用

SML電子束抗蝕劑的厚度范圍從50nm到2μm，起始體積僅為50mL。

高性能SML電子束抗蝕劑是一種新型聚合物，專(zhuān)為滿足EBL社區(qū)的需求而設(shè)計(jì)。即使在低加速電壓下，也無(wú)需借助鄰近效應(yīng)校正，就可以同時(shí)將其圖案化為高分辨率和高長(zhǎng)寬比的圖案。

SML抗蝕劑經(jīng)過(guò)專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)，可與標(biāo)準(zhǔn)PMMA工藝配合使用。無(wú)需更改化學(xué)或過(guò)程培訓(xùn)。

產(chǎn)品范圍–厚度

SML50：40nm – 100nm

SML100：90nm – 210nm

SML300：250nm – 600nm

技術(shù)指標(biāo)

高分辨率：<10nm

*的寬高比：

30 kV時(shí)> 10：1

> 50：1 @ 100 kV

厚度：50 nm – 2000 nm

PMMA抗蝕劑是用于電子束光刻的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)正性抗蝕劑。我們提供各種分子量和厚度的PMMA。

PMMA Resist是行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的電子束抗蝕劑，廣泛用于學(xué)術(shù)界和工業(yè)，用于高分辨率功能和剝離應(yīng)用。它也可以用于納米壓印應(yīng)用以及其他晶圓廠和研發(fā)過(guò)程，例如石墨烯薄片轉(zhuǎn)移。