Säntis 300 全晶圓工業(yè)陰極熒光CL-SEM系統(tǒng)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Attolight定量CL-SEM系統(tǒng)提供 “不折不扣”大視場(chǎng)快速掃描的同時(shí)獲取SEM圖像、高光譜CL圖像和光學(xué)光譜。較小直徑的晶圓，或形狀混雜的襯底被手動(dòng)加載到300mm的中間感受器上，然后儀器自動(dòng)處理。

S?ntis 300全晶圓工業(yè)CL-SEM系統(tǒng)是全晶圓陰極發(fā)光顯微鏡，可以*自動(dòng)化控制150、200和300毫米晶圓。

優(yōu)點(diǎn)及特點(diǎn)

1、控制可\達(dá)300毫米的晶圓

2、高\(yùn)效的CL-SEM掃描成像效率

3、同時(shí)進(jìn)行電鏡成像和光學(xué)信號(hào)采集

4、邊緣檢測(cè)，晶圓準(zhǔn)確定位(優(yōu)于10µm)

5、對(duì)晶圓翹曲度自動(dòng)映射和調(diào)整

6、S?ntis 300系統(tǒng)提供3種不同的采集模式，為不同的需求和應(yīng)用量身定制:

• 面掃描模式（FWBrush模式）

• 線掃描模式（AWPix模式）

• 多點(diǎn)掃描模式

產(chǎn)品應(yīng)用

工業(yè)市場(chǎng)應(yīng)用：

1、GaN 及其應(yīng)用:

高強(qiáng)度LED要求高發(fā)射效率和高可靠性。以汽 車應(yīng)用為例，LED故障影響安全，危及人身安 全；UVC LED 要求高的發(fā)射效率和高的發(fā)射均勻 性；LED故障會(huì)使人的生命處于危險(xiǎn)之中，例如在滅菌和消毒應(yīng)用中。

2、光子學(xué)：激光光子學(xué)

3、電力電子應(yīng)用 GaN：電力電子應(yīng)用需要更大的功率、更小和更輕 的包裝，例如物聯(lián)網(wǎng)或汽車應(yīng)用

4、II-VI族材料：GaAs 及其應(yīng)用: 太陽(yáng)能, 電力電子；電力電子SiC ；µLED

其他應(yīng)用舉例：

1、微觀結(jié)構(gòu)發(fā)光二極管(MicroLed)

2、LED質(zhì)量控制

3、GaN中的螺紋位錯(cuò)缺陷計(jì)數(shù)

4、碳化硅襯底質(zhì)量控制