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Centrotherm Activator150 高溫退火爐系統

具體成交價以合同協議為準

公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
品牌 其他品牌
型號 Centrotherm Activator150
產地德國
廠商性質 生產廠家
更新時間 2024/9/25 16:11:06
訪問次數 1139

產品標簽

Centrotherm 退火快速退火 Activator 激活/退火

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公司自成立以來就一直專注于半導體、微組裝和電子裝配等領域的設備集成和技術服務；目前公司擁有一支在半導體制造、微組裝及電子裝配等領域經驗豐富的專業(yè)技術團隊，專業(yè)服務于混合電路、光電模塊、MEMS、先進封裝（TSV、Fan-out等）、化合物半導體、微波器件、功率器件、紅外探測、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設備，還能根據客戶的實際生產需求制訂可行的工藝技術方案。
目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導體制造設備企業(yè)建立了良好的合作關系（如：BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等），為向客戶提供先進的設備和專業(yè)的技術服務打下了堅實基礎。

展開

半導體設備，微組裝設備，LTCC設備，化工檢測設備

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產地類別	進口	應用領域	石油,能源,電子

Centrotherm 高溫退火爐系統-Activator 150

一、產品簡介

Centrotherm Activator 150 高溫爐設計用于SiC或GaN器件注入后退火。Centrotherm*工藝爐管和加熱系統設，允許工藝溫度達到 1850 ℃。

此外，Activator 150 系列的產品可以實現生長石墨烯生長。通過碳化硅升華生長石墨層可以獲得高性能器件。

Centrotherm 新一代SiC工藝爐管的研發(fā)用以滿足新興的150 毫米 SiC工藝。

Centrotherm Activator 150-5 是為研發(fā)工作而特制的，而Centrotherm Activator 150-50專為大批量生產設計。

廣泛的工藝范圍實現了對自定義化程序的優(yōu)化, 例如溫度, 氣路系統和壓力。

二、典型應用

SiC器件高溫退火（注入后）

GaN器件退火

大面積石墨烯生長

SiC表面制備

三、產品特性

性能和優(yōu)勢

高活化

小表面粗糙度

最大溫度可達 1850 ℃

Centrotherm Activator150 高溫退火爐系統

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