OTF-1200X-80-III-F3LV 1200℃三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)

殼體結(jié)構(gòu)

 · 雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷

 · 保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，可以減少熱量的損失，環(huán)保節(jié)能

 · 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的1750度高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命 

可開啟式，更換爐管方便

功率

 5 KW 

電壓 

AC 208-240V單相, 50/60 Hz 

加熱元件

Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 

最高工作溫度

1200℃ 

連續(xù)工作溫度

1100℃

最大加熱速率 

 ≤20 ℃/min

石英管& 密封法蘭

 · 80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在儀器內(nèi) 

· 儀器上已經(jīng)安裝有不銹鋼真空密封法蘭，壓力表和閥門（點擊下面的圖片查看詳細(xì)的信息）

加熱區(qū)長度

· 三個溫區(qū)長度: (880mm, 35" in total)

 · 溫區(qū) 1: 220mm (8.6" ) 

· 溫區(qū) 2: 440mm (17.3")溫區(qū) 3: 220 mm (8.6") 注：由于測量手段及外部環(huán)境的影響，測量結(jié)果可能會有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。

溫控系統(tǒng)

· 三個精密溫度控制器，可獨立控溫· PID控制方式,通過PWM固體繼電器。

· 30段可編程智能溫度調(diào)節(jié)儀，并可設(shè)置30段升降溫程序. 

· 帶有過熱和斷偶保護(hù)功能

控溫精度 

+/- 1℃

真空密封系統(tǒng)

 · 兩個不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計和截止閥）.

 · 通過機(jī)械泵真空度可以達(dá)到 5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr).如果使用機(jī)械泵和分子泵，真空度可以達(dá)到10-4 torr. 

 · 漏氣率 < 5 m-torr / min

真空泵 

采用雙旋機(jī)械泵，機(jī)械泵上安裝有進(jìn)口的油污過濾器，可以過濾真空泵工作時產(chǎn)生的油煙，減少泵油的損耗，保護(hù)環(huán)境和人體健康，過濾的0.3微米

數(shù)字式真空顯示計 

可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換

氣體流量計和壓力表 

· 三個浮子流量計，能夠檢測到氣體的流 

· 三路浮子量程分別為· 10-100 cc/min. 

· 16-160 cc/min. 

· 25-250 cc/min 

· 內(nèi)部安裝有一混氣罐有一壓力表安裝在浮子流量供氣系統(tǒng)側(cè)面上，可以檢測氣體壓力及混合槽的壓力

閥門 

四個不銹鋼閥門安裝在浮子流量供氣系統(tǒng)側(cè)面上，用于控制氣體的流量

 外形尺寸 

· 爐子: 1100 X 450 x 670mm 

    底部移動架: 600x600x597mm

 開門斷電 

為保證使用安全，該電爐為開門斷電設(shè)計

凈重 

約 90 Kg 

運輸重量 

245 lbs

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，如爐管，密封圈，等易耗件 

使用注意事項

· 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 

· 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa會更加精確安全 

· 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) 

· 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

· 石英管的長時間使用溫度＜1100℃對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等