P200L 半自動探針平臺，支持所有高分辨率顯微鏡

P200L的可靠性和精度，特點是絲杠-導絲螺母臺和臺板驅動器，一個不銹鋼臺板，可拆卸前楔和高穩(wěn)定性顯微鏡橋，支持所有高分辨率的長工作距離顯微鏡。微操作器P200L 200mm半自動探頭站的標準功能，如單點地面和集成熱吸盤管道。半自動探針平臺，支持所有高分辨率顯微鏡

定制P200L為兩種流行的主機控制方法:

-直接指向標準的非基于windows的控制器，或者

-直接到可選的NetProbe 7軟件釋放的權力，包括晶圓地圖，集成視頻，theta對準，子模，和模式識別

標準的P200L的通用的非基于windows的控制器支持USB或GPIB，(取決于訂購的配置)通信。舞臺X-Y和壓板(Z)是機動/可編程的。顯微鏡運動是手動的。該系統(tǒng)可以通過腳本和所有流行的參數(shù)測試分析探針驅動器來控制。一個索引腳本與用戶GUI和Labview VI提供了允許使用該系統(tǒng)的開箱即用。

Micromanipulator致力于確保我們的半自動系統(tǒng)是靈活的，以便應用如磁靈敏度測試，探針卡，毫米波，晶片和板級測試。一旦你制定了你的測試計劃，我們也有很好的關系，所以如果需要，我們可以把你轉移到一個全自動探測器站。

標準的操縱桿控制允許簡單和快速的操作時，可編程性是不需要的。操縱桿直觀地操縱著臺臺和臺板。P200L可配置一個局部干燥/屏蔽/黑暗環(huán)境，“高帽”用于低電平或低溫、無霜探測。

支持三種溫度范圍:

-環(huán)境溫度(室溫)至400C

-0 c - 400 c

-65 c到400 c

P200L是高性能、全性能和低成本的200mm半自動探頭站的選擇。

專為小電流、亞微米定位應用而設計微操作器P200L的標準與特點，如單點地面和集成熱吸盤管道。建造的可靠性和精度，P200L的特點是絲杠-螺帽舞臺和壓板驅動器，不銹鋼壓板與可移動的前面楔型和高穩(wěn)定性顯微鏡橋，支持所有高分辨率長工作距離顯微鏡。P200L的通用控制器支持USB, GPIB, RS-232和TCP/IP通信(配置了適當?shù)倪x項)。舞臺x - y和壓板(Z)是機動/可編程的。顯微鏡機動可編程控制也是一種選擇。這個系統(tǒng)可能是通過腳本控制和所有流行的參數(shù)檢驗分析檢測器驅動程序。提供了一個索引腳本與用戶GUI和Labview VI允許使用開箱即用的系統(tǒng)?？删幊梯S也可以通過可選的netProbe7來控制軟件具有廣泛的GUI導航，晶圓地圖，子模具和視頻應用程序和路由器應用的GPIB連通性(單獨訂購netProbe7)。操縱桿控制允許簡單和快速的操作時可編程性不是必需的。操縱桿直觀地操作臺臺和臺板(Z)。操縱桿控制系統(tǒng)顯微鏡X-Y和Z用于這樣配置的系統(tǒng)。P200L可配置局部干/屏蔽/暗環(huán)境(選項顯示在照片與前楔打開)和低水平或低溫探測用“禮帽”。P200L是一個高性能，充分的站的選擇能力和成本效益200毫米半自動探頭站。

P200L半自動探針微操作臺特性概述：

-高穩(wěn)定性的機加工底座和顯微鏡橋為小目標探測支持所有高分辨率顯微鏡。

-不銹鋼板支持真空或磁性底座操縱器和提供長壽命有吸引力的完成?？梢苿拥那靶ò鍨闄C械手和進入提供了額外的空間端口配置為本地干/暗環(huán)境時。

-舞臺結構特點是澆注舞臺核心和交叉輥穩(wěn)定和堅固的軸承結構。導螺桿-鉛螺母階段和壓板驅動器提供高精度，以及在大的接觸面積上分布驅動力，使用壽命長。

-緊湊的外形提高了穩(wěn)定性，并提供了較小的空間足跡最小化實驗室空間需求。

-就地控制工位/滾筒(和可選的顯微鏡)X-Y-Z驅動器由操縱桿提供。

可編程控制的舞臺/壓板通過用戶主機接口(USB)和RS-232標準，GPIB和TCP/IP可用)通過高層索引應用程序與X-Y索引和Platen Up/下定位控制提供標準。國家儀器Labview控件庫和控制器VI提供標準可編程軸也可以通過可選的netProbe7來控制軟件具有廣泛的GUI導航，晶圓地圖，子模具和視頻應用程序和路由器應用的GPIB連通性(單獨訂購netProbe7)。

美國Micromanipulator P200L半自動探針平臺規(guī)格:

-腳印(寬度x深度)22.75“x 23.35”(57.7 x 59.3 cm)。

-站寬、深、高28.5 " x 26.75 " x 21.5 " (72.5 x 68.0 x 55.0厘米)。250磅(115公斤)。

-200級x 200mm (x - y)、x 25mm (Z - platen)驅動范圍:支持高達200mm的晶圓片/樣品。

-級分辨率0.5微米，精度+/- 5 um，重復性+/- 2 um，支持探測最小的目標。

-不銹鋼(磁性)滾筒4點電動/可編程1um分辨率絲杠驅動器+/- 1um可重復性:手動控制0.7 um分辨率- 15度范圍標準。可選電動/可編程的theta驅動器。

-手動顯微鏡100 x 100mm (x - y)， x 50mm (Z)額外32mm Z顯微鏡的機械定位標準。機動/可編程顯微鏡驅動器(見圖)可選的。

Micromanipulator P200L半自動探針系統(tǒng)全系列的配件和選項，包括：

獨立顯微鏡抬升，可調顯微鏡抬升延遲(如圖所示，帶壓盤升降顯微鏡)可選集成干/暗外殼:提供EMF屏蔽和外殼為低溫查克干燥探頭卡持有人，輕型密封外殼，熱卡盤，視頻配件、手動/電動機械手。

Micromanipulator P200L半自動探針系統(tǒng)全系列的主要應用：

-200mm半自動測片機

-可選的NETPROBE-7控制軟件與晶圓地圖，集成視頻，theta對準，子模，和模式識別

-受歡迎的測試公司包括Keysight、Keithley和LabVIEW都可以提供駕駛員

-可配置的直流，射頻，微波，和高功率的應用

-65℃到400℃可配置

型號P300L探針系統(tǒng)，P300J電動手動探針系統(tǒng)和P300A探針系統(tǒng)的半自動探針系統(tǒng)：

由于型號P300L探針系統(tǒng)，P300J電動手動探針系統(tǒng)和P300A探針系統(tǒng)的半自動探針系統(tǒng)和P200L半自動探針系統(tǒng)規(guī)格相近這里不一一列舉，有需要的客戶可以向工作人員咨詢規(guī)格書。

它們的全系列的配件和選項，主要包括：

探頭卡持有人，輕型密封外殼，熱夾頭，視頻配件，手動/電動操作器。

型號P300L探針系統(tǒng)，P300J電動手動探針系統(tǒng)和P300A探針系統(tǒng)設備要求:

-測試站:真空:25 in-Hg

-控制器:85至265 VAC, 47-63 Hz, 2.4安培，典型

型號P300L探針系統(tǒng)，P300J電動手動探針系統(tǒng)和P300A探針系統(tǒng)試驗臺尺寸(寬、深、高、重):

-站姿:33 " x 40 "全系列的配件和選項，包括:探頭卡持有人，輕型密封外殼，熱夾頭，視頻配件，手動/電動操作器。

-測試站:真空:25 in-Hg

-控制器:85至265 VAC, 47-63 Hz, 2.4安培，典型

試驗臺尺寸(寬、深、高、重):

-站姿:33 " x 40 " x 33 " (84 x 102 x 84厘米)，480磅(218公斤)

-控制器獨立-尺寸取決于配置 x 33 " (84 x 102 x 84厘米)，480磅(218公斤)

-控制器獨立-尺寸取決于配置

半自動探針平臺，支持所有高分辨率顯微鏡