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瑞士安東帕高溫高真空超納米壓痕儀 UNHT3 HTV

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 本公司主要從事半導(dǎo)體進(jìn)口設(shè)備及輔助材料、醫(yī)療檢測設(shè)備等多領(lǐng)域的銷售,是一家集研發(fā)、制造、銷售為一體的企業(yè)。我們的主營業(yè)務(wù)涉及了研發(fā)銷售及加工材料及周邊產(chǎn)品;電子光電產(chǎn)品設(shè)備研發(fā)組裝及銷售,半導(dǎo)體儀器設(shè)備銷售;國內(nèi)貿(mào)易、貨物及技術(shù)進(jìn)出口;醫(yī)療器械研發(fā)及銷售;醫(yī)用耗材及醫(yī)療用品的銷售等。

本公司主要從事半導(dǎo)體進(jìn)口設(shè)備及輔助材料、醫(yī)療檢測設(shè)備等多領(lǐng)域的銷售,是一家集研發(fā)、制造、銷售為一體的企業(yè)。我們的主營業(yè)務(wù)涉及了研發(fā)銷售及加工材料及周邊產(chǎn)品;電子光電產(chǎn)品設(shè)備研發(fā)組裝及銷售,半導(dǎo)體儀器設(shè)備銷售;國內(nèi)貿(mào)易、貨物及技術(shù)進(jìn)出口;醫(yī)療器械研發(fā)及銷售;醫(yī)用耗材及醫(yī)療用品的銷售等

高溫超納米壓痕測試儀 (UNHT3 HTV)

一臺(tái)真正意義的商品化的高溫高真空超納米壓痕儀,主要測量小載荷下納米尺度機(jī)械性能的測試系統(tǒng),溫度在 800 °C 以下的薄膜和涂層的硬度和彈性模量。 UNHT3 技術(shù)與的加熱功能結(jié)合,可提供在任何溫度下的高穩(wěn)定性測量解決方案。


主要特點(diǎn)
新一代的高溫納米壓痕測試儀

  • 環(huán)境條件下熱漂移 (< 0.5 nm/min) 和整個(gè)溫度范圍內(nèi)熱漂移 (< 3 nm/min)。

  • 載荷框架剛度 (>>106 N/m) 和框架柔度 (<<0.1 nm/mN):兩套獨(dú)立的位移和載荷傳感器與高精度電容傳感器結(jié)合,可選擇“控制位移”和“載荷控制”模式。

  • 高真空系統(tǒng)具有 5 軸磁懸浮渦輪泵和緩沖系統(tǒng),允許在測量期間關(guān)閉初級(jí)泵,使振動(dòng)降至。

  • 的加熱控制系統(tǒng)(3 項(xiàng)待批),采用3 個(gè)紅外 (IR) 加熱器分別用于給壓痕針尖、參比針尖和樣品進(jìn)行加熱,以及 4 個(gè)熱電偶用于將樣品表面溫度控制到 變化在0.1°C 內(nèi)。

  • 符合 ISO 14577 和 ASTM E2546 國際標(biāo)準(zhǔn)


技術(shù)指標(biāo)

載荷
載荷100 mN
載荷分辨率  6 nN
本底噪音  0.5 [rms] [μN(yùn)]*
位移
位移100 μm
位移分辨率0.006 nm
本底噪音0.15 [rms] [nm]*
極限真空度10? mBar
溫度800 °C





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