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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>硅片制備/晶體生長(zhǎng)設(shè)備>晶圓切片機(jī)>SA-FWM20W-A 晶圓激光刻號(hào)機(jī)

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SA-FWM20W-A 晶圓激光刻號(hào)機(jī)

參考價(jià) 300000
訂貨量 ≥1臺(tái)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 首昂光電(上海)有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào) SA-FWM20W-A
  • 產(chǎn)地 上海市奉賢區(qū)廣豐路1110號(hào)
  • 廠(chǎng)商性質(zhì) 生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間 2023/3/10 10:54:15
  • 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 210

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十五年深耕激光設(shè)備研發(fā),十五年扎根半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用,造就了首昂光電深厚的技術(shù)沉淀以及*特的行業(yè)視角,我們一直致力于把更好的激光與自動(dòng)化技術(shù)帶入半導(dǎo)體行業(yè)。

作為國(guó)內(nèi)*批將激光應(yīng)用于二極管、三極管及可控硅晶圓劃切的*軍者,公司技術(shù)團(tuán)隊(duì)正積極將激光技術(shù)應(yīng)用到更寬廣的半導(dǎo)體領(lǐng)域,助力中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)走向*端與自主可控。公司已儲(chǔ)備大量基礎(chǔ)加工技術(shù),正穩(wěn)步推進(jìn)一系列擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的新工藝、新應(yīng)用,在多個(gè)關(guān)鍵制程設(shè)備上達(dá)到行業(yè)*先水平,*美實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化替代。


晶圓激光切割機(jī),晶圓激光劃片機(jī),晶圓激光刻號(hào)機(jī),全自動(dòng)勻膠機(jī),韓國(guó)進(jìn)口LS DD馬達(dá)(力矩電機(jī))

晶圓激光刻號(hào)機(jī)

產(chǎn)品介紹

是專(zhuān)業(yè)化的晶圓激光刻號(hào)打碼專(zhuān)用設(shè)備,適用于2-8英寸晶圓的軟打標(biāo)、硬打標(biāo)作業(yè)。

支持OCR字符和點(diǎn)陣字符,

適用于Si, GaAs, Ge, SiC, GaP, InP, Sapphire, Quartz等的軟打標(biāo)、硬打標(biāo)。

全自動(dòng)生產(chǎn) 可加工2〞-  6〞、4〞-  8〞、8〞- 12〞晶圓

工業(yè)級(jí)激光器,穩(wěn)定可靠,免維護(hù)

光束質(zhì)量好,標(biāo)識(shí)精細(xì),可讀性好

操作界面友好,使用方便 ,

無(wú)需外接水冷機(jī)


晶圓激光刻號(hào)機(jī)

應(yīng)用范圍:

2-8英寸晶圓的軟打標(biāo)、硬打標(biāo)

適用于Si, GaAs, Ge, SiC, GaP, InP, Sapphire, Quartz等的刻號(hào)、打碼。

技術(shù)規(guī)格                      項(xiàng)目                          單位                             數(shù)值


*大加工尺寸                   晶圓尺寸                        inch                              6英寸

激光器功率                   激光器出口處                       w                               20瓦

激光器波長(zhǎng)                   紅外光纖激光器                     nm                             1064納米

                           定位精度                        mm                              0.05毫米

                           重復(fù)精度                        mm                              0.02毫米

振鏡                        *大掃描速度                      mm/s                           7000毫米/秒

                            振鏡類(lèi)型                      數(shù)字/模擬                       高速數(shù)字式振鏡

                           *大負(fù)載                          Kg                             1.5千克

協(xié)作機(jī)械手                     *大臂長(zhǎng)                         mm                             400毫米

                            重復(fù)精度                         mm                           正負(fù)0.03毫米

                            Z向行程                          mm                             210微米

                             電源                           AC                         兩相220~240V 50HZ

                            *大耗電量                         Kw                            1.5千瓦

                           單獨(dú)接地電阻                        Ω                            小于4歐

                           共用接地電阻                        Ω                            小于1歐

                          壓縮空氣供給壓力                      MPa                          0.5~0.8兆帕

                           廠(chǎng)務(wù)真空供給                        Kpa                          -0.6千帕

其他規(guī)格                      排風(fēng)口口徑                         mm                            50毫米




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