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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>光刻及涂膠顯影設備>勻膠機>KW-4C-II 光刻及涂膠顯影設備賽德凱斯勻膠機旋涂儀

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KW-4C-II 光刻及涂膠顯影設備賽德凱斯勻膠機旋涂儀

參考價 20000.00-88000.00
具體成交價以合同協(xié)議為準
產(chǎn)品標簽

勻膠機旋涂儀實驗室設備

規(guī)格
KW-4C一套(含泵含片托)20000.00元999 套可售
KW-4C-I一套(含泵含片托)40000.00元999 套可售
KW-4C-II一套(含泵含片托)88000.00元999 套可售

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螢幕截圖 2023-02-22 下午3.13.49.png

 

勻膠機、真空泵、射頻電源、匹配器

基片尺寸 5-150mm 速度范圍 1-10000RPM/1-12000RPM(KW-4C-I型)
轉(zhuǎn)速精度 1RPM 加速度范圍 1-10000RPM/S
膠均勻性 ±1%


KW-4C系列光刻及涂膠顯影設備賽德凱斯勻膠機旋涂儀功能如下:

1.帶防飛片保護與報警

2.帶防進膠保護與報警

3.電機可正反轉(zhuǎn)

4.配方帶掉電保護功能

5.加速度可調(diào),

6.帶開蓋保護(KW-4C-I型)

7.帶4路滴膠顯影系統(tǒng)(KW-4C-II型)

精度

指標

基片尺寸

5-150mm

速度范圍

1-10000RPM/1-12000RPM(KW-4C-I型)

轉(zhuǎn)速精度

1RPM

轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度

±0.1%

加速度范圍

1-10000RPM/S

膠均勻性

±1%

控制信號

指標

人機界面

4.3寸觸摸屏

通信接口

可接無線鼠標鍵盤:機器可放于手套箱內(nèi),同時客戶可在手套箱外遠程操作機器

旋轉(zhuǎn)方向

支持正反轉(zhuǎn)

觸控筆

BAMBOO電阻筆(標配)

真空泵

AP-550V無油泵/FY油泵

編程模式

參數(shù)

設置數(shù)據(jù)

無限組數(shù)據(jù),每組10段轉(zhuǎn)速(標配)

每段時間

0-10000秒

存儲數(shù)據(jù)

無限組數(shù)據(jù)

電氣參數(shù)

指標

勻膠機交流供電口

AC100-250V

真空泵交流供電口

AC220V(標配) AC110V(選配)

勻膠機功率

200W

真空泵功率

350W

真空泵抽速

≥60L/MIN

機械尺寸

參數(shù)

勻膠機體積

210mm(W)X220mm(D)X160mm(H)

勻膠機重量

10KG

泵重量

9KG

使用環(huán)境

參數(shù)

環(huán)境溫度

0-40℃

相對濕度

< 85%

放置于桌面

可通過自帶水平儀調(diào)節(jié)機器水平

技術支持

指標

質(zhì)保期

1年


4C的三款型號區(qū)別.jpeg

KW-4C-I勻膠機詳情圖.jpeg


KW-4C-II勻膠機詳情圖.jpeg

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4.購物須知.jpg





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  • 其他
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