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Frontier Semiconductor 薄膜應(yīng)力及基底翹曲測(cè)試設(shè)備
- 公司名稱 上海富瞻環(huán)??萍加邢薰?/a>
- 品牌 Bruker/布魯克
- 型號(hào) Frontier Semiconductor
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2023/5/23 16:10:43
- 訪問(wèn)次數(shù) 588
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非甲烷總烴在線監(jiān)測(cè)儀,有機(jī)揮發(fā)物氣體監(jiān)測(cè)儀,沼氣檢測(cè)儀,大氣環(huán)境在線檢測(cè)儀,空氣質(zhì)量指數(shù)檢測(cè)儀器,大氣氣象綜合分析系統(tǒng),林業(yè)大氣環(huán)境檢測(cè)儀,交通環(huán)境大氣污染檢測(cè),惡臭工作站
薄膜應(yīng)力及基底翹曲測(cè)試設(shè)備
基于Optilever激光掃描技術(shù)。
使用應(yīng)力控制,避免薄膜分層,形成凹凸?fàn)睢?nbsp;
光學(xué)設(shè)計(jì)減少圖形襯底對(duì)激光的干涉。 在TSV, 半導(dǎo)體以及LED工藝上控制基底彎度。
在平板顯示行業(yè),控制玻璃的平整度
LED行業(yè)中, 可分析藍(lán)寶石或碳化硅裸片的BOW/ WARP, 以及LED制程中不同薄膜造成的應(yīng)力
在20米曲率的標(biāo)準(zhǔn)片上,重復(fù)性少于0.01公差。
雙波長(zhǎng)激光設(shè)計(jì), 如某一波長(zhǎng)激光在樣本反射度不足,系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)使用另一波長(zhǎng)激光進(jìn)行掃瞄,滿足不同材料的應(yīng)用
全自動(dòng)平臺(tái),可以進(jìn)行2D及3D掃瞄
相同產(chǎn)品中提供數(shù)據(jù)點(diǎn):每英寸可測(cè)1000點(diǎn),平均每晶圓超過(guò)32線。
提供3D應(yīng)力分布圖。
擁有三維應(yīng)力分布圖和大量的數(shù)據(jù)點(diǎn)使用戶能夠檢測(cè)局部的應(yīng)力變化。
500 及 900°C高溫或-50°C低溫型號(hào)可選
熱解析光譜分析可選。
樣品臺(tái)可通用于2至8寸基底, 另備有可容納450mm直徑或370 X 470mm樣本的型號(hào)
多種型號(hào)以供選擇:
手動(dòng)上下片)
自動(dòng)上下片(Cassette to cassette, C2C)
可添加并整合于多腔式集束型架構(gòu)設(shè)備(cluster tool)
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