三軸氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

王欣悅 依巴依-似伍陸陸-捌柒零貳

三軸氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)精度性能

XY軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的定位精度±0.1μm，雙向重復(fù)定位精度±50nm，直線度±0.05μm，平面度±0.1μm，Pitch Yaw ±0.5arc sec，平升Z軸的定位精度±0.1μm，雙向重復(fù)定位精度±50nm，直線度±0.5μm。

三軸氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

XY軸為非接觸式氣浮結(jié)構(gòu)，精度高和外形尺寸小等特點(diǎn)，氣浮導(dǎo)軌間沒有機(jī)械接觸，免維護(hù)運(yùn)行。Z軸為平升直驅(qū)結(jié)構(gòu)，承載能力大，抗蠕變交叉滾柱導(dǎo)軌垂直導(dǎo)向，提升直線度性能，可選雙閉環(huán)反饋的方式，獲得高重復(fù)定位精度和定位精度。

  線纜管理

使用高質(zhì)量的高柔排線和氣管，線管彎曲半徑產(chǎn)生的擾動(dòng)力影響可忽略不計(jì)，運(yùn)動(dòng)中線纜和氣管不影響氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的性能。此外，可定制帶屏蔽高柔線纜，適合環(huán)境噪聲大的場(chǎng)合。

  定制化

XY軸可定制陶瓷材質(zhì)氣浮導(dǎo)軌，直線度可達(dá)±50nm。

  注意事項(xiàng)

以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測(cè)試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動(dòng)等級(jí)VC-F，測(cè)試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處，測(cè)試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測(cè)量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)精度測(cè)試與負(fù)載尺寸及測(cè)試點(diǎn)高度有關(guān)，環(huán)境的變化會(huì)導(dǎo)致精度變化，如要求非標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試，請(qǐng)咨詢我們。

1. Plus值為高精度指標(biāo)，是標(biāo)準(zhǔn)值的升級(jí)版。

2. 取決于平臺(tái)安裝表面的平面度。

3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。

4. 空載條件下指標(biāo)，速度大小取決于負(fù)載大小。