UNIXX EBR A20 德國osiris去邊機：EBR

德國osiris去邊機：EBR，對半導體晶圓進行去邊處理，去除晶圓邊緣的不良部分，去除氧化層、清潔表面等，以提高晶圓的質(zhì)量和加工性能。

一般應用于半導體行業(yè)，對晶圓進行邊緣去除處理，確保晶圓邊緣的平整和清潔，以提高晶圓的加工質(zhì)量和精度?；蛘呤枪夥a(chǎn)業(yè)，對硅片進行邊緣去除處理，確保硅片的表面質(zhì)量，提高太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率。

除了半導體和光伏產(chǎn)業(yè)，EBR去邊機還在其他領(lǐng)域有應用，如集成電路封裝、傳感器制造、醫(yī)療器械等領(lǐng)域，用于對各種基板和器件進行邊緣處理。

smartEBR 用于清潔扁平或缺口晶圓的邊緣。

UNIXX EBR A20

（200x200mm） 獨立的smartEBR系統(tǒng)。（單底座）