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SE-i 光譜橢偏儀03090808

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北京鴻瑞正達(dá)科技有限公司—實(shí)驗(yàn)室整體建設(shè)解決方案集成者：
鴻瑞正達(dá)主要服務(wù)于高等院校、科研院所和研發(fā)企業(yè)，專注于科研領(lǐng)域，助力科研成果轉(zhuǎn)化。公司提供材料研究成套設(shè)備及整套解決方案，包括：高壓科學(xué)材料、金屬材料、電池研發(fā)、地質(zhì)地礦材料、脆性材料、薄膜材料等研究領(lǐng)域的科研成套設(shè)備。

我們的服務(wù)理念是：讓科研更高效、便捷。

 

 

 

 

 

 

 

 

實(shí)驗(yàn)室設(shè)備，材料科學(xué)，質(zhì)譜儀，電化學(xué)，電池，催化


SE-i 光譜橢偏儀


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產(chǎn)品簡介： 光譜橢偏儀 SE-Vi 是一款集成式原位光譜橢偏儀，針對有機(jī)/無機(jī)鍍膜工藝研究 的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測中的定制化開發(fā)，快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析。光譜橢 偏儀廣泛應(yīng)用于金屬薄膜、有機(jī)薄膜、無機(jī)薄膜的物理/化學(xué)氣相沉積， ALD 沉積等光學(xué)薄 膜工藝過程中實(shí)際原位在線監(jiān)測并實(shí)時反饋測量物性數(shù)據(jù)。




產(chǎn)品型號

SE-i 光譜橢偏儀

技術(shù)參數(shù)

1、自動化程度：固定變角


2、應(yīng)用定位：原位定制型


3、基本功能： Psi/Delta、N/C/S 等光譜


4、分析光譜： 380-1000nm，支持按需定制化


5、單次測量時間： 0.5-5s


6、重復(fù)性測量精度： 0.01nm


7、入射角范圍： 65°（支持定制）


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