Sinton WCT-120:硅片壽命測試工具

Sinton WCT-120:硅片壽命測試工具提供了對載流子復(fù)合壽命進(jìn)行校準(zhǔn)分析的現(xiàn)有技術(shù)。遵從SEMI標(biāo)準(zhǔn) PV-13。WCT-120 是放置在桌面上的硅片壽命測量系統(tǒng)，適用于器件研究和工業(yè)過程控制，價格實惠。WCT-120MX適用于測試230 mm的大硅片。

產(chǎn)品概述

WCT-120和WCT-120MX 儀器展示了我們的測量和分析技術(shù)，包括 sinton Instruments公司在 1994年開發(fā)的遵從 SEMI標(biāo)準(zhǔn)的準(zhǔn)穩(wěn)態(tài)光電導(dǎo)(QSSPC)壽命測量方法。

WCT-120儀器使用QSSPC和瞬態(tài)光電導(dǎo)衰減技術(shù)，可以測量10ns到10 ms+范圍的硅片壽命。QSSPC 技術(shù)適用于監(jiān)測多晶硅片、摻雜擴(kuò)散及低壽命樣品。瞬態(tài)光電導(dǎo)衰減技術(shù)適用于對高壽命樣品的工藝進(jìn)行逐步監(jiān)控。

Sinton WCT-120:硅片壽命測試工具也會給出隱含開路電壓(隨光照強(qiáng)度變化的)曲線，相當(dāng)于在電池工藝的每個階段都能給出一條I-V曲線。

主要應(yīng)用：

對制造工藝進(jìn)行逐步監(jiān)控和優(yōu)化。

其他應(yīng)用:

l 監(jiān)測初始材料質(zhì)量。

l 在硅片加工過程中檢測重金屬雜質(zhì)污染。

l 評估表面鈍化和發(fā)射極摻雜擴(kuò)散。

l 使用隱含I-V測試，估算加工過程引起的并聯(lián)電阻。

Sinton Instruments 的分析會給出每張硅片的校準(zhǔn)的載流子注入水平，所以可以認(rèn)為壽命數(shù)據(jù)在物理意義上是準(zhǔn)確的。每次測試都會顯示和記錄用戶所關(guān)注的特定參數(shù)。