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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>制樣/消解設(shè)備>離子濺射儀> VTC-16-1HD單靶磁控濺射儀

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VTC-16-1HD單靶磁控濺射儀

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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　　沈陽(yáng)科晶立足國(guó)內(nèi)市場(chǎng)實(shí)際情況，以提供Z為實(shí)用的產(chǎn)品為己任。產(chǎn)品的質(zhì)量、精度在向國(guó)外企業(yè)看齊的基礎(chǔ)上，產(chǎn)品的價(jià)格定位卻僅僅是其幾分之一。性?xún)r(jià)比不僅吸引了眾多國(guó)內(nèi)客戶(hù)，而且令挑剔的外國(guó)客商也稱(chēng)贊不已，產(chǎn)品遠(yuǎn)銷(xiāo)于印度、馬來(lái)西亞、土耳其、波蘭、突尼斯、澳大利亞等國(guó)家，并大量出口于美國(guó)。

　　沈陽(yáng)科晶為了更好地服務(wù)客戶(hù)，專(zhuān)門(mén)設(shè)立了開(kāi)放式專(zhuān)業(yè)實(shí)驗(yàn)室，配備了優(yōu)秀的專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員。在這里，不僅可以提供親身的產(chǎn)品體驗(yàn)環(huán)境，而且還可得到專(zhuān)業(yè)人員的操作指導(dǎo)。開(kāi)設(shè)以來(lái)，制作的樣品達(dá)上千件，接待來(lái)訪(fǎng)客參觀戶(hù)百余次，其中包括多次外國(guó)友人的來(lái)訪(fǎng)。在此，沈陽(yáng)科晶全體員工誠(chéng)摯地歡迎您的到來(lái)，并希望您能提出寶貴的意見(jiàn)與建議。

　　沈陽(yáng)科晶一路走過(guò)的歷程，是為我國(guó)材料研究事業(yè)全力貢獻(xiàn)的歷程，是以實(shí)際行動(dòng)將自己打造成國(guó)內(nèi)材料分析設(shè)備品牌的歷程，是與國(guó)外同行不斷縮小差距的歷程，是與廣大客戶(hù)相扶相持的成長(zhǎng)歷程。雖一路充滿(mǎn)坎坷與荊棘，但堅(jiān)持不懈的沈陽(yáng)科晶人仍全力以赴的前行。秉承這份堅(jiān)持，相信在不久的將來(lái)，沈陽(yáng)科晶也將會(huì)成為市場(chǎng)上專(zhuān)業(yè)的、杰出的材料分析設(shè)備品牌，沈陽(yáng)科晶的明天會(huì)更加燦爛輝煌。

 

★我們擁有同類(lèi)型中優(yōu)質(zhì)性?xún)r(jià)比的產(chǎn)品！　　　　　　　　　　　　　　　　　

　　    您正在為材料與設(shè)備無(wú)從下手而焦急嗎？

★歡迎來(lái)到沈陽(yáng)科晶，我們是國(guó)內(nèi)實(shí)驗(yàn)室樣品制備設(shè)備領(lǐng)域的專(zhuān)家！

 

 

 

 

 

 

 

 

切割機(jī)，金剛石線(xiàn)切割機(jī)，研磨拋光機(jī)，提拉涂膜機(jī)，旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)，真空鍍膜機(jī)，管式爐，箱式爐，電池實(shí)驗(yàn)研究設(shè)備，清洗機(jī)

產(chǎn)地類(lèi)別 國(guó)產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

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VTC-16-1HD單靶磁控濺射儀是我公司自主新研制開(kāi)發(fā)的一款高真空鍍膜設(shè)備，可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。單靶磁控濺射儀配備有一個(gè)靶槍?zhuān)蛇x擇強(qiáng)磁靶或弱磁靶，弱磁靶用于非導(dǎo)磁材料的濺射鍍膜，強(qiáng)磁靶用于鐵磁性材料的濺射鍍膜。與同類(lèi)設(shè)備相比，且具有體積小便于操作的優(yōu)點(diǎn)，且可使用的材料范圍廣，是一款實(shí)驗(yàn)室制備各類(lèi)材料薄膜的理想設(shè)備。IMG_257

1、一個(gè)靶槍?zhuān)涮咨漕l電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜或配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜。
2、靶頭在樣品臺(tái)正下方，脆性靶材安裝更方便，樣品不易被污染。
3、可制備多種薄膜，應(yīng)用廣泛。
4、體積小，操作簡(jiǎn)便。
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產(chǎn)品名稱(chēng)

VTC-16-1HD單靶磁控濺射儀

產(chǎn)品型號(hào)

VTC-16-1HD

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水）
2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地
3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶Ø6mm雙卡套接頭）及減壓閥
4、工作臺(tái)：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上
5、通風(fēng)裝置：需要

主要參數(shù)

1、電源電壓：220v  50Hz
2、功率：900W
3、腔體內(nèi)徑：φ164mm
4、極限真空度:9.0×10-4Pa
5、樣品臺(tái)加熱溫度：RT-500℃，精度±1℃（根據(jù)實(shí)際需要提升溫度）
6、靶槍數(shù)量：1個(gè)（在真空室下方）
7、靶槍冷卻方式:水冷
8、靶材尺寸：φ2〞，厚度0.1-5mm（因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同）
9、樣品臺(tái)：φ86mm
10、樣品臺(tái):1rpm-20rpm內(nèi)可調(diào)。
11、直流濺射功率：500W；射頻濺射功率：300W。
12、開(kāi)關(guān)蓋方式：自動(dòng)升降上蓋。
13、工作氣體:Ar等惰性氣體。
進(jìn)氣氣路：質(zhì)量流量計(jì)進(jìn)氣，1-100SCCM可調(diào)。

產(chǎn)品規(guī)格

14、產(chǎn)品規(guī)格：
·尺寸：
主機(jī)尺寸：750mm×450mm×1020mm
真空室規(guī)格：φ164×172mm
·重量：100kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1直流電源控制系統(tǒng)1套
2射頻電源控制系統(tǒng)1套
3分子泵（德國(guó)進(jìn)口或者國(guó)產(chǎn)更大抽速）1臺(tái)
4冷水機(jī)1臺(tái)
5冷卻水管（Ø6mm）2根

可選配件

1、金、銦、銀、白金等各種靶材，可選配強(qiáng)磁靶用于鐵磁性材料的濺射鍍膜。
2、膜厚檢測(cè)系統(tǒng)。

 

 

 



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