BCG552 ATM至超高真空真空計
| 參考價 | ￥18400-￥22200/件 |
- 公司名稱 杭州太昊科技有限公司
- 品牌INFICON/美國
- 型號
- 所在地杭州市
- 廠商性質(zhì)代理商
- 更新時間2024/10/8 16:15:06
- 訪問次數(shù) 403
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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
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BCG552 ATM至超高真空真空計
TripleGauge® BCG552 在一個傳感器法蘭中集成了 3 個真空傳感元件。這款新型 TrigonTM 系列的旗艦產(chǎn)品具有極寬的測量范圍，從 UHV (5 x10-10) 到 ATM (1500 mbar)。由于增加了 ATM 傳感器，BCG552 可用于壓差測量，并在多個應(yīng)用中用作真空開關(guān)。
支持的 Bayard-Alpert 雙燈絲在 UHV 和 HV 范圍內(nèi)具有出色的精度、可重復(fù)性和使用壽命，而微型電容式隔膜真空計在 ATM 范圍內(nèi)具有出色的精度，并且不受氣體類型的影響。
優(yōu)勢
1，3 + 1 個傳感元件，測量范圍極廣，降低成本，節(jié)省空間
2，雙燈絲設(shè)計
3，獨立于氣體類型的壓力測量（10 托以上）為任何混合氣體提供更可靠的負載鎖定控制
4，壓差測量消除了與大氣壓力變化有關(guān)的不確定性
5，自動高真空皮拉尼調(diào)節(jié)減少了操作員的干預(yù)
6，電隔離電子元件可避免雜散電流
7，滑動排放模式，避免在切換排放流時出現(xiàn)壓力跳躍和凍結(jié)現(xiàn)象
8，設(shè)定點繼電器
9，明亮大屏幕 OLED 顯示屏（可 90° 旋轉(zhuǎn)），帶用戶界面
10，模擬輸出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口
11，可與 VGC50x 控制器系列配合使用
12，向后兼容 TripleGauge® BCG450
13，符合 RoHS 規(guī)范
典型應(yīng)用
半導(dǎo)體制程、傳輸和負載鎖定室中的壓力測量
工業(yè)鍍膜
低真空至超高真空范圍內(nèi)系統(tǒng)的一般真空測量和控制
測量范圍 (氣, O2, CO, N2) 5 × 10-10 … 1500 mbar
準確度 950 ... 1050 mbar ±2.5% 讀數(shù)
50 ... 950 mbar ±5% 讀數(shù)
1 × 10-8 … 50 mbar ±15% 讀數(shù)
可重復(fù)性 5% 讀數(shù), 1 × 10-8 … 1050 mbar (穩(wěn)定 10 分鐘后）
暴露在真空中的材料 不銹鋼、鎳鐵合金、鍍鎳、哈氏合金、玻璃、銥、氧化釔 (Y2O3)、鎳、鎢
BCG552 ATM至超高真空真空計
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