化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>熱工藝設(shè)備/熱處理設(shè)備>氧化擴(kuò)散設(shè)備>HORIC D200系列 擴(kuò)散/氧化系統(tǒng)
HORIC D200系列 擴(kuò)散/氧化系統(tǒng)
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 北方華創(chuàng)
- 型號 HORIC D200系列
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/9/5 17:38:36
- 訪問次數(shù) 385
產(chǎn)品標(biāo)簽
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1. 產(chǎn)品概述
HORIC D200系列 擴(kuò)散/氧化系統(tǒng)，半導(dǎo)體客戶端機(jī)臺裝機(jī)量大。
2. 設(shè)備用途/原理
HORIC D200系列 擴(kuò)散/氧化系統(tǒng)，半導(dǎo)體客戶端機(jī)臺裝機(jī)量大。可根據(jù)客戶需求配置多工藝組合的機(jī)臺。安全性能高：設(shè)備及所使用的元件符合國標(biāo)和國際標(biāo)準(zhǔn)。可提供優(yōu)良成熟的 MES 系統(tǒng)解決方案。優(yōu)異的工藝技術(shù)支持。
3. 設(shè)備特點
晶圓尺寸 4、6、8 英寸，適用材料 硅、碳化硅、硅基氮化鎵。適用工藝 磷擴(kuò)散、硼擴(kuò)散、氧化、退火、合金。適用域 科研、化合物半導(dǎo)體。擴(kuò)散爐是半導(dǎo)體生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一，用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導(dǎo)纖維等行業(yè)的擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝。
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