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化工儀器網>產品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>光刻及涂膠顯影設備>涂膠顯影設備>KS-S300-SP 12寸噴霧式涂膠機

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KS-S300-SP 12寸噴霧式涂膠機

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涂膠顯影

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產品概述

KS-S300全自動噴霧式涂膠機是一款創(chuàng)新型設備,通過超聲波技術將光刻膠霧化為微小顆粒,能夠在較大深寬比的圖形表面上以高分辨率均勻涂敷光刻膠。此技術的應用顯著增強了涂膠效果,使得光刻膠能夠有效覆蓋溝槽的側壁和邊緣,從而避免了在傳統(tǒng)涂膠方式中常見的溝槽內堆積現象。這種精確涂布不僅有助于提高成品的質量,也能顯著節(jié)省光刻膠的使用量,降低材料成本。

針對輕薄易碎的襯底,KS-S300特別設計了靜態(tài)噴霧式涂膠系統(tǒng)。通過在涂膠過程中避免高速旋轉,這種設計有效降低了襯底破裂的風險,從而保護了高價值的材料,確保生產過程的安全性和可靠性。

KS-S300的應用領域十分廣泛,包括半導體封裝、微機電系統(tǒng)制造(MEMS)及其他高科技領域。它不僅提升了工作效率,降低了材料浪費,還在精度和一致性方面滿足了嚴格的工業(yè)標準。此外,該設備已順利通過SEMI S2認證,進一步證明了其在安全性和質量控制方面的可靠性。

2. 產品優(yōu)勢:

旋流式錐形霧化可均勻覆蓋高深寬比臺階的邊緣和底部

旋轉加熱式承片臺有效節(jié)省光刻膠
承片臺靜態(tài)噴涂規(guī)避輕薄襯底碎片風險
噴嘴具備內外自動清洗功能

3. 應用域:

封裝
OLED域
MEMS




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