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UC100-SE 紫外臭氧清洗機(jī)

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紫外臭氧清洗

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1.基本參數(shù)

品牌與型號(hào):LEBO/雷博,UC100-SE

產(chǎn)地:中國(guó)江蘇江陰

額定電壓:AC220V,50Hz

燈管功率:多為300W,也有資料提及為275W(具體以實(shí)際產(chǎn)品為準(zhǔn))

燈管壽命:≥8000小時(shí)

燈管形狀:U型或G型(不同來源信息可能略有差異)

燈管光譜:185nm+254nm或184nm+254nm(不同來源信息可能略有差異)

清洗面積:≤8寸

外型尺寸:大致為330mm(W)×400~420mm(D)×315mm(H)(不同來源信息可能略有差異)

產(chǎn)品重量:約為15~16kg

2.功能與特性

高效清洗:通過VUV低壓紫外汞燈發(fā)射的185nm和254nm波長(zhǎng)的紫外光,直接打開和切斷有機(jī)物分子中的共價(jià)鍵,使其活化并分解成離子、游離態(tài)原子等,同時(shí)生成臭氧和活性氧原子,通過氧化反應(yīng)清除粘附在物體表面上的有機(jī)污染物。

集成控制系統(tǒng):設(shè)備采用集成式的嵌入式控制系統(tǒng),帶有LCD點(diǎn)陣液晶顯示屏和數(shù)字化操作界面,用戶操作更加簡(jiǎn)單直觀。

高度調(diào)節(jié)與誤觸保護(hù):基片照射高度可無化調(diào)節(jié)或采用X型調(diào)節(jié)裝置,確保高度調(diào)節(jié)更加平穩(wěn)。同時(shí),系統(tǒng)自帶誤觸功能,降低操作失誤幾率。

風(fēng)量調(diào)速:進(jìn)風(fēng)及抽風(fēng)風(fēng)扇采用5調(diào)速,可根據(jù)需要調(diào)節(jié)風(fēng)量,確保清洗效果。

人體工程學(xué)設(shè)計(jì):設(shè)備設(shè)計(jì)符合人體工程學(xué)原理,實(shí)驗(yàn)操作易上手,使用便捷。

3.應(yīng)用域

UC100-SE紫外臭氧清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于多個(gè)域,包括但不限于:

LCD、OLED生產(chǎn):在涂光刻膠、PI膠、定向膜、鉻膜、色膜進(jìn)行光清洗,提高基體表面潤(rùn)濕性和粘合力。

半導(dǎo)體生產(chǎn):硅晶片涂保護(hù)膜、鋁蒸發(fā)膜進(jìn)行光清洗,提高粘合力,防止針孔、裂縫的發(fā)生。

掃描探測(cè)顯微鏡:用于清洗原子力顯微鏡探針、掃描探針顯微鏡標(biāo)準(zhǔn)和其他表面上的油漬層和殘留的無機(jī)材料。



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