THERMA-WAVE TP 630 晶圓檢測儀
- 公司名稱 深圳市達(dá)瑞博電子有限公司
- 品牌 KLA-Tencor
- 型號 THERMA-WAVE TP 630
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/3/26 21:47:53
- 訪問次數(shù) 618
THERMA-WAVE TP 630晶圓測試和計量紅外激光掃描光學(xué)器件雙色高溫計紅外成像技術(shù)和分析技術(shù)
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,綜合 |
|---|
THERMA-WAVE TP 630 晶圓檢測儀
是一種先進(jìn)的晶圓測試和計量設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、數(shù)據(jù)存儲和光伏產(chǎn)業(yè)。該設(shè)備具備多種尖duan技術(shù)，能夠提供高精度的測量結(jié)果和詳細(xì)的圖像。
TP 630 設(shè)備具有紅外激光掃描光學(xué)器件和雙色高溫計，可以測量晶圓厚度、地形和表面粗糙度等參數(shù)，最大吞吐量為每小時600個晶圓。此外，它還利用各種接觸和非接觸計量技術(shù)，包括現(xiàn)場實(shí)時晶圓測量，以確保精確的結(jié)果。
TP 630 XP 版本則進(jìn)一步增強(qiáng)了其功能，配備了先進(jìn)的紅外成像技術(shù)和分析技術(shù)，能夠快速準(zhǔn)確地分析復(fù)雜的三維結(jié)構(gòu)，并且具備高精度的運(yùn)動和定位精度。這種設(shè)備特別適用于需要高效生產(chǎn)能力和高速度的制造環(huán)境。
此外，TP 630 還支持傳統(tǒng)的200毫米硅晶圓以及新的300毫米硅晶圓，使其在不同尺寸的晶圓上都能進(jìn)行有效的測試和計量。該設(shè)備設(shè)計堅固可靠，適用于潔凈環(huán)境和具有挑戰(zhàn)性的工業(yè)環(huán)境。
總之，THERMA-WAVE TP 630 晶圓測試儀憑借其高精度、多功能性和強(qiáng)大的計量能力，成為半導(dǎo)體制造和研究領(lǐng)域中不ke或缺的工具。
產(chǎn)品概述
高精度、高重復(fù)性和高速生產(chǎn)能力
設(shè)計用于測量模具、結(jié)構(gòu)和微米的開創(chuàng)性能力
支持高達(dá)300毫米晶圓的離子注入測量技術(shù)
主要功能
自動化晶圓測試和計量設(shè)備
提供高分辨率成像和多傳感器分析
紅外激光掃描光學(xué)器件和雙色高溫計測量晶圓厚度、地形、表面粗糙度等
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造和研究應(yīng)用
數(shù)據(jù)存儲和光伏產(chǎn)業(yè)
技術(shù)特點(diǎn)
先進(jìn)的紅外成像技術(shù)和晶圓過程控制分析技術(shù)
包括高精度的運(yùn)動和定位精度、強(qiáng)大的圖形用戶界面以及用戶可配置的設(shè)計
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