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RTP快速退火爐真空型500V

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      本所自開發(fā)RTP快速退火系列產(chǎn)品以來已近30年。自1988年受中科院委托研發(fā)光照快速熱處理設備以來與清華,北大,浙大,半導體所,微電子所,物理所等高校研究所共同進步,為華為,三安光電,中電科等半導體企業(yè)保駕護航,也被一些海外的教授專家所青睞。如香港理工大學,香港中文大學,香港科技大學。美國堪薩斯州立大學,美國揚斯頓州立大學和新加坡南洋理工大學也有數(shù)臺在科研教學一線。

快速退火爐,真空快速退火爐

RTP快速退火爐真空型500V
RTP快速退火爐真空型500V
性能指標 配備狀態(tài)
溫度范圍 100 – 1300 ℃
升溫速率 2  —  200 ℃/秒可調(diào)
密封石英腔內(nèi)面尺寸 215 X 140X 14 毫米
樣品尺寸 4英寸
計算機控制器 CPU主頻2.1 GHz,內(nèi)存2 G,硬盤1 T,19英寸液晶顯示器,Windows 10操作系統(tǒng)。配有AD/DA卡ISA/PCI插口,及RTP-600控制軟件。(配置以出廠前電腦配置為準,不低于上述配置)及快速熱處理編程控制軟件RTP-600的控制軟件. 可編程溫度曲線存儲1500 條以上, 每條曲線包括100段以上, 溫度設定范圍 25—1300℃ , 每段時間設定范圍1—30000 秒。數(shù)據(jù)可導出為文本文件便于數(shù)據(jù)處理。自動優(yōu)化溫控。
溫度設定范圍 100-1300℃
溫度重復性 +/-1℃
測溫精確度 100-1300全溫度段精度>0.5%
測溫裝置 K型熱電偶
溫度曲線 自動記錄,保存,文本格式轉(zhuǎn)換,支持彩色分頁打印
真空系統(tǒng) 提供KF16接口,不銹鋼管路,極限真空度0.1Pa
1000℃連續(xù)工作時間 雙閉環(huán)溫度控制,  穩(wěn)態(tài)溫度穩(wěn)定性±1℃ ,1000℃連續(xù)工作>1小時
光源 1.25KW X 13 鹵鎢燈
電源 380 V  40A 三相 四線(三火線, 零線),50/60Hz
冷卻裝置 自來水或循環(huán)水, 水壓 1—3 kg / 平方厘米, 流量6-8升/分
冷卻方式 水冷,風冷,氣冷
安全裝置 過溫報警,過熱報警,過熱自動保護,水壓報警,水壓異常自動保護
機柜尺寸 定制機柜
氣體壓力控制系統(tǒng) 氣氛流量>2L/min 2路MFC氣路系統(tǒng),真空測量系統(tǒng)0.1Pa-100kPa,腔室壓力可調(diào)。

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