化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>離子注入設(shè)備>離子注入機(jī)>SME-3500 日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體中電流離子注入機(jī)
SME-3500 日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體中電流離子注入機(jī)
- 公司名稱 玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 SME-3500
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/11/25 14:41:55
- 訪問次數(shù) 234
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真空泵;離心機(jī),;監(jiān)測儀,真空系統(tǒng),除塵裝置,數(shù)字粉塵儀;粒子計(jì)數(shù)器,環(huán)境監(jiān)測設(shè)備,環(huán)境測量設(shè)備 環(huán)境檢測設(shè)備
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體中電流離子注入機(jī)
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體中電流離子注入機(jī)
用于研究和開發(fā)的中電流離子注入機(jī)SME-3500
中電流離子注入機(jī)IMX-3500是一款最高能量為200kV、晶圓尺寸最大為8英寸的離子注入機(jī)，非常適合大學(xué)的研發(fā)。
特征
最大晶圓尺寸為8英寸，配備可處理不規(guī)則形狀基板的壓板。
除了氣體源之外，固體蒸發(fā)源也可用于易于安全處理 B、P 和 As 離子的離子源。
高壓端子部分與量產(chǎn)設(shè)備配置相同，確保高可靠性。
規(guī)格
| 活力 | 30 至 200keV（可選 3 至 200keV） |
| 最大束流 | 11B+ 400μA（200keV) 31P+ 600μA（200keV) |
| 最小束流 | 150納安 |
| 離子種類 | B、P、As、Si、Ge、Sb、In 他 |
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