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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>薄膜生長設備>物理氣相沉積設備>FPSEM-STE-MS900 磁控濺射物理氣相沉積PVD系統(tǒng)

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FPSEM-STE-MS900 磁控濺射物理氣相沉積PVD系統(tǒng)

參考價800000-1800000/件
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
  • 品牌孚光精儀
  • 型號FPSEM-STE-MS900
  • 所在地上海市
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 更新時間2024/12/16 11:47:37
  • 訪問次數(shù) 86

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聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


孚光精儀是進口精密儀器和實驗室儀器設備供應商,是*基于激光和成像等光子技術分析測試儀器的規(guī)模性進口商和代理商,服務商。
孚光精儀公司以精密光學技術為特色,以光學應用為宗旨,以歐洲,北美和日本進口精密儀器為主業(yè),為中國客戶提供*分析測試儀器產(chǎn)品,促進光學技術產(chǎn)品在中國的應用和相關技術水平提升。

21世紀是光學世紀,激光,光譜,光學成像等光學技術極大地促進生物光子學,燃燒和流體力學光學診斷,光譜測試分析等學科發(fā)展和技術提升,成為前沿科學和先進制造*的分析,計量,測試和實驗工具手段,因此“光學”成為“精密”的代名詞,是*精密測試分析的有力實驗技術。


孚光精儀公司就是這樣一個以光學為特色的進口儀器和實驗室設備公司,擁有齊全的進口精密(光學)儀器種類,龐大而可靠的國外生產(chǎn)商群體,和快捷高效的貿(mào)易體系,是用戶信賴的進口分析測試技術儀器和實驗室儀器的旗艦型供服務商。

公司品牌釋意


孚:信服/conviction,

光:光學/optics

精:精密/

precision
儀:儀器/Instruments

我們信服于光學,致力于光學精密儀器事業(yè)。


公司價值
孚光精儀-精通光學,服務科學

經(jīng)驗豐富的激光和光學技術工程師幫助用戶出具方案,確認適合應用的精密

光學儀器和科學儀器裝置,為用戶提供“舒心,省心”的進口體驗。
以豐富的進口操作經(jīng)驗和電子商務管理體系,高效溝通國外制造商,為用戶提供高效的儀器進口和購置服務!
齊全的光學種類
涵蓋了所有光學和激光技術應用領域和相關儀器

熒光光學成像儀器 (包括FRET系統(tǒng),TIRFM顯微鏡系統(tǒng), 鈣成像顯微鏡系統(tǒng),熒光壽命成像系統(tǒng),生物發(fā)光和熒光發(fā)光成像系統(tǒng)等生物光子學儀器)

分子生物學

光學儀器( 包括凝聚成像,生物發(fā)光和熒光發(fā)光成像系統(tǒng)等)

醫(yī)用

光學儀器(內(nèi)窺成像,生物活檢成像,輻射成像等)

光譜分析

測試儀器 (激光拉曼光譜儀, FTIR光譜儀,LIBS光譜儀等)

激光粒度儀器 (基于激光和圖像技術的粒度和濃度

測試儀器

光學成像儀器 (高速成像,紅外熱成像,X射線成像)

光譜成像系統(tǒng) (包括高光譜成像,多光譜成像儀器)

燃燒和流體力學光學診斷技術和儀器 (基于激光和成像技術,融合光譜分析技術組建PIV,PLIF,溫度探測,燃燒分析成像等儀器)

無損光學檢測儀器(如果激光散斑干涉,EPSI,X射線成像,熱成像,光學內(nèi)窺等儀器)

AFM, SEM,SPM等特種光學顯微鏡

通用

實驗室儀器和設備(包含所有涉及光學技術的實驗儀器)

服務和應用領域

生物光子學

生命科學

醫(yī)學成像

制藥

食品工程

化學和化工

 

實驗室儀器實驗室建設

流體力學

工程熱物理

燃燒診斷分析

發(fā)動機研發(fā)

航空航天

地球物理科學

地質(zhì)和石油勘探


半導體和微電子

 

 

 

 

 

先進制造

新能源

材料科學

儀器科學與技術

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客戶群體
     
高等院校

*系統(tǒng)研究院所

中國國有企業(yè)及其研究院所

外資企業(yè)


高效的服務體系
總部位于上海,在上海自貿(mào)區(qū)和天津自貿(mào)區(qū)具有倉庫,在香港設立貿(mào)易公司,擁有遍布全國的代理商,供應商遍布美國、德國、英國、法國、意大利、奧地利、瑞典、捷克、立陶宛、愛沙尼亞等精密儀器優(yōu)勢國家和地區(qū)。
公司受益于香港便捷的貿(mào)易條件以及上海自貿(mào)區(qū)和天津自貿(mào)區(qū)的高效進口程序,為客戶提供高效技術儀器進口服務,為制造商提供高效出口服務。

靈活的購買方式
孚光精儀在天津和上海均有進口公司,眾邦企業(yè)(天津)貿(mào)易有限公司和輔光精密儀器(上海)有限公司,具有商檢,報關,進出口等高貿(mào)易資質(zhì),為客戶提供優(yōu)質(zhì)而專業(yè)的進口服務,幫助出口商/制造商完成清關服務,并送貨到用戶地址。

 

外方經(jīng)理定期來華辦公指導                                             工作園區(qū)一角\

公司電子*門辦公一角                                                   員工文化墻一角


用戶的青睞和信任
我們高效的服務和質(zhì)優(yōu)價廉的產(chǎn)品贏得了廣大的青睞和信賴,成為聲譽*的*產(chǎn)品和服務供應商。國內(nèi)的科研單位多次從我公司訂購各種產(chǎn)品。如:
*上海光機所

*西安光機所

*安徽光機所

*長春光機所

*合肥物質(zhì)研究院


*物理研究所

*光電研究院


*福建物質(zhì)結(jié)構研究所
中國工程物理研究院
華中光電技術研究所
中國電子集團公司53

清華大學

北京大學

中國科技大學


哈爾濱工業(yè)大學
山東大學
武漢大學
南開大學

天津大學


**********

 

 

 

 

飛秒激光微加工系統(tǒng),激光器,激光晶體,原子力顯微鏡

磁控濺射物理氣相沉積是多功能高壓PVD系統(tǒng),用于磁控濺射和多組分薄膜的熱蒸發(fā),用于批量晶圓物理氣相沉積加工.
磁控濺射物理氣相沉積可在加熱至700℃的晶圓上濺射多組分層(金屬、電阻層、ITO層等),設計用于主動研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)。*化后的高真空不銹鋼反應器由固定源單元和升降頂蓋組成。反應器的***新人體工程學設計配有提升機構,便于蒸發(fā)器單元和內(nèi)部篩網(wǎng)的日常維護。
磁控濺射物理氣相沉積PVD系統(tǒng)
磁控濺射物理氣相沉積特點
•可用于研發(fā)和小型生產(chǎn)的多功能真空沉積系統(tǒng)
•*化的系統(tǒng)人機工程學,操作和維護方便
•濺射幾何(自下而上)允許***小化樣品表面上的顆粒密度
•通過QCM、現(xiàn)場電阻測量等實現(xiàn)過程自動控制。
•高壓不銹鋼圓柱電抗器,頂部法蘭提升,集成水冷
•∅200mm靶材或∅150mm靶材具有6個磁控管源的5個端口,任何系統(tǒng)配置中,一個端口可用于離子束源
•旋轉(zhuǎn)木馬式基板支架,可改變樣品尺寸
•同一工藝的濺射晶圓大數(shù)量為5×∅200 mm、6∅150 mm和30片60×48 mm
•雙面沉積時基板支架可能翻轉(zhuǎn)180°的可能性(可選)
•2個靶材直徑達∅200 mm的磁控管源和百葉窗,2個電源(DC和RF),基本配置中磁控管之間自動重新連接
•沉積前基底清潔用離子束源(能量20÷300 eV)
•3條帶有自動氣體流量控制器的燃氣管線,包括防腐性能旁通管線
•工藝氣體:Ar、H2、O2、N2
•能夠安裝現(xiàn)場電阻測量見證樣品
•在特定濺射源下旋轉(zhuǎn)木馬定位的自動基板
磁控濺射物理氣相沉積規(guī)格參數(shù)
工藝過程反應器中的極限壓力:   不小于<5×10-7
達到預處理真空的時間(<5×10^-6Torr):   不超過25min
磁控管源的***大數(shù)量:5×∅200mm 或 6×∅150mm
離子束粒(離子能20~300eV): 可選配
襯底支架傾斜180度:  可選配
一次性處理晶圓數(shù)量::5×∅200mm 或 6×∅150mm 或30x (60x48)mm
濺射薄膜的非均勻性: +/-2.5%  @200mm
沉積過程中晶圓旋轉(zhuǎn)的速度范圍:    0~20rpm
晶圓加熱溫度: ***高700°С
泵送系統(tǒng)性能:–渦輪分子泵,不小于1300l/s
                       –干式渦旋泵,不小于35m3/h
過程:自動化控制




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