UFM-2000 精密離子減薄儀

精密離子減薄儀利用聚焦氬離子束 對樣品上下表面同時進(jìn)行轟擊，利用動量交換方式實現(xiàn)對樣品進(jìn)行精細(xì)減薄，獲得滿足電子束穿透厚度的薄區(qū)供透射電鏡觀察。

邁科英諾型號UFM-2000精密離子減薄儀采用電磁及永磁體結(jié)合雙聚焦離子槍設(shè)計，高電壓離子束散開獲得更大薄區(qū)，低電壓匯聚提高精修效率?？蛇x配液氮冷臺，去除離子束制樣高溫帶來的相變、缺陷遷移、優(yōu)先減薄等人為干擾，滿足溫度敏感材料制樣需求。10英寸全觸屏控制，支持配方式操作，大大降低對使用人員的經(jīng)驗要求。通過配備的專業(yè)光學(xué)顯微鏡，可實現(xiàn)對制樣過程實時監(jiān)控和判斷。

技術(shù)優(yōu)勢

◆ 聚焦離子束：永磁體聚焦結(jié)合電磁聚焦，離子槍無耗材；

◆ 束斑調(diào)節(jié)功能：通過調(diào)節(jié)束斑尺寸可滿足大薄區(qū)制樣及快速精修；

◆ 定點減薄：配備X/Y方向定點減薄夾具，千分尺精確控制。

主要應(yīng)用

◆ 陶瓷 ◆ 玻璃 ◆ 地質(zhì) ◆ 半導(dǎo)體 ◆ 金屬及合金

離子減薄裝樣器及標(biāo)準(zhǔn)夾式樣品臺