Gasboard-2060 紅外氣體傳感器
- 公司名稱(chēng) 四方光電(武漢)儀器有限公司
- 品牌 四方儀器
- 型號(hào) Gasboard-2060
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/1/15 17:28:31
- 訪問(wèn)次數(shù) 30
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源 |
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產(chǎn)品名稱(chēng):紅外氣體傳感器
產(chǎn)品型號(hào):Gasboard-2060
紅外氣體傳感器產(chǎn)品概述
紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器,產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測(cè)量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺(tái)內(nèi)常見(jiàn)預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議,可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點(diǎn)檢測(cè)、腔室清理終端檢測(cè),能夠減少清潔時(shí)間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。
紅外氣體傳感器產(chǎn)品特性
(1)使用NDIR技術(shù),多氣體監(jiān)測(cè)支持(SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)
(2)響應(yīng)時(shí)間快,高靈敏度
(3)無(wú)耗材
(4)模擬/數(shù)字通信
(5)模塊化設(shè)計(jì),便于集成
紅外氣體傳感器技術(shù)參數(shù)
檢測(cè)原理 | NDIR |
檢測(cè)氣體 | SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 |
量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
重復(fù)性 | ±0.5% |
線性 | ±1%F.S. |
檢測(cè)限 | 1ppm |