FLTZ-002 油浴加熱裝置 半導(dǎo)體制冷機設(shè)備chiller
參考價 | ¥ 152363 |
訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 無錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司
- 品牌 冠亞恒溫
- 型號 FLTZ-002
- 產(chǎn)地 江蘇省無錫市錫山區(qū)翰林路55號
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/2/7 11:04:36
- 訪問次數(shù) 11
熱風(fēng)循環(huán)風(fēng)機高低溫一體機冷熱一體溫控機高低溫循環(huán)機加熱制冷系統(tǒng)
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制冷加熱循環(huán)器、加熱制冷控溫系統(tǒng)、反應(yīng)釜溫控系統(tǒng)、加熱循環(huán)器、低溫冷凍機、低溫制冷循環(huán)器、冷卻水循環(huán)器、工業(yè)冷處理低溫箱、低溫冷凍機、加熱制冷恒溫槽等設(shè)備
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 10萬-20萬 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),石油,制藥,綜合 |
油浴加熱裝置 半導(dǎo)體制冷機設(shè)備chiller
油浴加熱裝置 半導(dǎo)體制冷機設(shè)備chiller
面對晶圓測溫系統(tǒng)在使用中遇到的問題,可以從以下幾個方面來解決。
一、問題診斷
首先,需要對系統(tǒng)進行的檢查,以確定問題的具體所在。檢查電源與連接?,確保晶圓測溫系統(tǒng)的電源連接正常,插頭緊固,以及各部件之間的管路連接緊密,無泄漏現(xiàn)象。觀察系統(tǒng)運行時是否有異常聲音、振動或指示燈亮起,這些可能是設(shè)備故障的前兆。?檢查溫度傳感器?,確認溫度傳感器的接觸是否良好,若接觸不佳則可能導(dǎo)致測溫不準(zhǔn)確。
二、系統(tǒng)啟動故障
系統(tǒng)啟動時,若指示燈未亮起,首先應(yīng)排查電源插頭是否插緊,確保插座供電正常。有時候,電源線的損壞也會導(dǎo)致供電中斷,需要仔細檢查電源線是否有破損、斷裂的跡象。另外,若系統(tǒng)之前進行過軟件升級或硬件更換,可能會因安裝不當(dāng)而無法啟動。若是安裝問題,如軟件升級后系統(tǒng)無法啟動,可嘗試進入安全模式,查看是否能正常啟動。若硬件更換后出現(xiàn)問題,需檢查新硬件是否安裝正確,各接口是否連接緊密。
三、溫度控制異常
在生產(chǎn)過程中,若發(fā)現(xiàn)晶圓實際溫度與設(shè)定溫度偏差較大,可能是溫度傳感器出現(xiàn)故障。傳感器長期使用后,其精度可能會下降,無法準(zhǔn)確感知晶圓溫度。當(dāng)溫度傳感器出現(xiàn)故障,導(dǎo)致溫度控制異常時,需對傳感器進行校準(zhǔn)或更換。校準(zhǔn)可使用高精度的標(biāo)準(zhǔn)溫度計,在相同環(huán)境下與系統(tǒng)中的溫度傳感器進行對比測量。根據(jù)對比結(jié)果,調(diào)整傳感器的測量精度。若校準(zhǔn)后仍無法滿足精度要求,或者傳感器已損壞,應(yīng)及時更換溫度傳感器。
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