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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>常用儀表>自動(dòng)化儀表>過程儀表> 晶圓背部壓力控制器Horiba GR-511F

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晶圓背部壓力控制器Horiba GR-511F

參考價(jià) 30000
訂貨量 ≥1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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我公司代理進(jìn)口品牌多年,有兩大業(yè)務(wù):horiba質(zhì)量流量控制器和Dwyer儀器儀表及配套管接件。

HORIBA著名的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商,主要提供氣體質(zhì)量流量控制器、液體質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、汽化器。在半導(dǎo)體設(shè)備PECVD、MOCVD、Etch等關(guān)鍵工藝有非常廣泛的應(yīng)用。暢銷的質(zhì)量流量控制器有高性能的SEC-Z700系列、SEC-D500系列、SEC-Z500系列,低成本的有SEC-N100系列、SEC-E40系列及國內(nèi)組裝的S600系列、S48系列、S500系列。液體流量控制器有LV-F50LF-F60,壓力液體汽化器UR-Z700系列、GR-200系列、GR-300系列、PV-1000,氣體濃度計(jì)IR-300、IR-400,汽化器有VE10、VE20、MV-2000,皂膜流量計(jì)SF/VP系列,真空計(jì)VG-200S


儀器儀表代理品牌是美國dwyer、美國Omega、日本Horiba美國dwyer德威爾儀表成立有80多年,是美國*的儀器儀表生產(chǎn)商,有多個(gè)自主品牌:MagnehelicFlotect、Mercoid、Love,主要產(chǎn)品有:差壓表2000-250Pa、負(fù)壓表2000-500Pa、2000-60pa2000-25MBAR、2000-3KPA、2000-1000PA;數(shù)顯變送器MS-111MS111LCD、MS121LCDMS311LCD、MS141LCD;防爆差壓開關(guān)1950-1-2F、1950-5-2F、1950-20-2F、1950G-1-2F-241950-0-2F;flotect流量開關(guān)V4-2-U、V6EPBBS1BATV6EPBBS3BAT、V6EPBBSLF;flotect液位開關(guān)L6EPBBS3CCSA;風(fēng)速變送器641-6-LED、641-12-LED、641RM-12-LED;轉(zhuǎn)子流量計(jì)RMB-11-SSV-APF、RMA-13-SSV-APF、RMA-25-SSV-APFRMA-150-SSV-APF、RMB-51D-SSV-BPF、RMB-57D-SSV-BPF、RMB-85D-SSV-BPF、VFA-2-BV;高低壓報(bào)警開關(guān)A3000-1KPA-240VAC、A3000-750PA-240VAC、3000MR-500PA、3000MR-60PA、3000MR25MM;防爆差壓開關(guān)AT23000MR、AT21910、AT21823、AT2MS、AT21640、AT11910、AT1ADPS。

另有美國Omega熱電偶、Omega熱電偶插頭、Omega熱電偶線、Omega流量計(jì)等;韓國TK,SUPER LOK,卡套,超純隔膜閥,VCR直通,鎳墊片,焊接、卡套、VCR接頭,廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體,太陽能,暖通,空調(diào),食品,制藥,生物工程,智能樓宇,電廠,化工,水處理,環(huán)境監(jiān)測,工業(yè)制造和實(shí)驗(yàn)室等領(lǐng)域。



氣體質(zhì)量流量計(jì),熱式質(zhì)量流量計(jì),熱式質(zhì)量流量控制器,液體質(zhì)量流量計(jì),液體質(zhì)量流量控制器,壓力調(diào)節(jié)閥,壓差表、壓差傳感器、制粒干燥機(jī)

應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子,汽車 介質(zhì) He, Ar, N2
壓力控制范圍 10 Torr, 20 Torr,5Ttorr 流量 100sccm
輸出信號(hào) 0-5V 電源 ±15VDC
接口 1/4VCR

晶圓背部壓力控制器Horiba GR-511F

控制壓力10torr、20torr、50torr


晶圓背部壓力控制器Horiba GR-511F又稱壓力自動(dòng)調(diào)節(jié)閥,

用于半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)中晶圓背面的微小壓力控制,實(shí)現(xiàn)冷卻系統(tǒng)的冷卻功能,減少晶圓的熱損傷。

 

 晶圓背部壓力控制器Horiba GR-511F是壓力控制器GR500F系列中的熱門型號(hào),是壓力自動(dòng)調(diào)節(jié)閥GR-312F的升級產(chǎn)品,穩(wěn)定性更好,滿足晶圓生產(chǎn)中更嚴(yán)格的工藝要求。


晶圓背部壓力控制器Horiba GR-511F最小壓力控制器可以到1.3kpa.


特征

  • GR-511F是GR-312F的升級產(chǎn)品,Wafer背壓控制;

  • 壓力控制更穩(wěn)定、精度0.5%;

  • 可選擇流量信號(hào)反饋;

  • RoHS 認(rèn)證



技術(shù)參數(shù)

 

型號(hào)

GR-511F

閥門類型

C: 常閉

泄漏率

≤ 7 ×   10-11 Pa·m3 /s (He)

工作壓力上限

300   kPa (A)

耐壓

350   kPa (A)

工作溫度

5-50   °C (Accuracy guaranteed temp : 15-40 °C)

電源

+15   VDC±5 %, 250 mA -15 VDC±5 %, 250 mA

功率

7.5 VA

輸出信號(hào)

Analog

氣體 *1

He,   Ar, N2

接口

1/4   inch VCR

壓力量程

1.333   kPa (A) (10 Torr),

2.666   kPa (A) (20 Torr),
  6.666 kPa (A) (50 Torr)

壓力控制范圍

1-100   %F.S.

精度 *2

±0.5   %R.S.

零點(diǎn)/溫度系數(shù)

±0.04   %F.S./°C

量程/溫度系數(shù)

±0.04   %R.S./°C

相應(yīng)時(shí)間*3

≤ 1   sec

輸入模擬信號(hào)

0.1-10   VDC (1-100 %F.S.) Input impedance ≥ 1 MΩ
  Option:0.05-5 VDC (1-100 %F.S.) Input impedance≥ 1 MΩ

輸出模擬信號(hào)

0-10   VDC (0-100 %F.S.) Minimum resistance 2 kΩ
  Option:0-5 VDC (0-100 %F.S.) Minimum resistance 2 kΩ

流量滿量程 *1

20,   50, 100 SCCM

流量精度 *4 *5

±1   %R.S. (Flow rate > 25 %F.S.)
  ±0.25 %F.S. (Flow rate ≤ 25 %F.S.)

流量輸出信號(hào)

0-5   VDC (0-100 %F.S.) Minimum resistance 2 kΩ

材質(zhì)

SUS316L

安裝方向 *6

Free

重量*7

1.5 kg












實(shí)物圖片

GR-511F、IGS接口14C3


晶圓背部壓力控制器Horiba GR-511F




應(yīng)用案例

晶圓背部壓力控制器Horiba GR-511F



熱門型號(hào):GR312F、GR314F、GR317F、GR511F、GR-224FD

UR-Z712M、UR-Z712M-B、UR-Z722M、UR-Z722M-B、UR-Z732M、UR-Z732M-B、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B。


周邊產(chǎn)品

  horiba質(zhì)量流量控制器,熱門型號(hào)

SEC-Z717SMGC、SEC-Z727SMGC、SEC-Z717MGC、SEC-Z717MGC、


HORIBA 是氣體和液體質(zhì)量流量控制器制造商之一,擁有一系列模擬、數(shù)字和高溫質(zhì)量流量控制器以及使用點(diǎn)液體源汽化控制和輸送系統(tǒng)。

HORIBA 可以為您的涂層工藝生產(chǎn)線提供穩(wěn)定的控制,如化學(xué)氣相沉積 (CVD),原子層沉積 (ALD),金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積 (MOCVD), PVD (物理氣相沉積),等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 (PECVD) 和金剛石沉積或金剛石涂層 (DLC)。我們的產(chǎn)品提供全面的流體控制和過程監(jiān)控,以提高產(chǎn)量,增加吞吐量,并為您的涂層過程提高效。


本公司同時(shí)提供日本HORIBASTEC的質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器、數(shù)字式質(zhì)量流量控制器、耐腐蝕質(zhì)量流量控制器、數(shù)字壓力自動(dòng)調(diào)節(jié)閥、壓力控制器、薄膜硅真空計(jì)、汽化器、殘余氣體分析儀。









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