CRITERION D500 HORIBA堀場全新壓力不敏感質量流量模塊
參考價 | ¥ 4500 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 玉崎科學儀器(深圳)有限公司
- 品牌 HORIBA/堀場
- 型號 CRITERION D500
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2025/2/12 9:53:30
- 訪問次數(shù) 165
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真空泵;離心機,;監(jiān)測儀,真空系統(tǒng),除塵裝置,數(shù)字粉塵儀;粒子計數(shù)器,環(huán)境監(jiān)測設備,環(huán)境測量設備 環(huán)境檢測設備
應用領域 | 環(huán)保,化工,農林牧漁,能源,綜合 |
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HORIBA堀場全新壓力不敏感質量流量模塊
HORIBA堀場全新壓力不敏感質量流量模塊
壓力不敏感質量流量模塊
這種的壓力不敏感質量流量模塊安裝了差壓檢測和壓電執(zhí)行器閥。
CRITERION D500 提供的高性能確保其可用于一系列優(yōu)良的半導體制造工藝;壓力不敏感、多量程/多氣體/多壓力、G-LIFE(綜合限流器方程的氣體定律檢查)自診斷功能,精度高,響應快,量程寬,全金屬。
壓力不敏感性能
新的高性能壓力不敏感功能提供了簡化的供氣系統(tǒng)多量程、多氣體、多壓力解決方案
新功能允許用戶更改氣體類型、滿量程流量和供氣壓力范圍G-LIFE(集成限流器方程的氣體定律檢查)自診斷功能
優(yōu)良的過程健康監(jiān)測功能允許作員進行自己的測試,通常在 3 秒或更短的時間內,以提高吞吐量高精度
通過優(yōu)良的三維調整提高了工藝氣體的流量精度快速響應
響應:< 0.8 秒
可實現(xiàn)準確、穩(wěn)定的流量控制動態(tài)范圍
寬控制范圍:0.2% F.S. 至 100% F.S.
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