MC-7000C 琳得科LINTEC 高速響應質(zhì)量控制器 流量計
參考價 | ¥ 35000 |
訂貨量 | ≥100件 |
- 公司名稱 池田屋實業(yè)(深圳)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 MC-7000C
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/2/14 10:17:34
- 訪問次數(shù) 42
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產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 節(jié)流式 |
---|---|---|---|
價格區(qū)間 | 3萬-5萬 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
應用領域 | 綜合 |
琳得科LINTEC 高速響應質(zhì)量控制器 流量計 MC-7000C
琳得科LINTEC 高速響應質(zhì)量控制器 流量計 MC-7000C
池田屋實業(yè)(深圳)有限公司成立于2015年,位于廣東省深圳市,是一家從事中日貿(mào)易的企業(yè)。
公司經(jīng)過多年的發(fā)展,已整合多方海外廠商渠道,有穩(wěn)定的合作關系,為企業(yè)提供售賣、維修、售后等一系列節(jié)能降本的服務。
池田屋主要經(jīng)營日本科學儀器設備、實驗室儀器、各類檢測儀器、測量儀器、食品設備、光學設備、精密傳感器等各類工業(yè)流通產(chǎn)品。
公司擁有專業(yè)的銷售團隊、技術團隊、資深的管理團隊,通過全體員工的不懈努力,憑借在工業(yè)品領域的專業(yè)水平和成熟技術,
服務于電子消費類、半導體,液晶光電,汽車業(yè)、造船業(yè)、地鐵、等專業(yè)用戶里的世界500強企業(yè)。
高速響應質(zhì)量流量控制器
響應時間為 200 毫秒的超高速質(zhì)量流量控制器。
熱傳感器實現(xiàn)100毫秒(典型值)的高速流量控制。 Lintec 的非接觸式熱流量傳感器和壓電控制閥可以實現(xiàn)腐蝕性氣體的超高速流量控制。
流量精度高,可達±1.0%SP,數(shù)字通信方式可選擇DeviceNet或EtherCAT。
使用示例
高速蝕刻工藝
在半導體制造過程中,需要在實現(xiàn)微型化的同時提高產(chǎn)量。對于控制反應氣體流速的質(zhì)量流量控制器而言,縮短流量控制啟動(上升)時間的需求也日益增加。超高速質(zhì)量流量控制器[MC-7000]是流量傳感器與被測氣體不接觸的非接觸式熱式流量傳感器,實現(xiàn)了200毫秒的超高速響應。由于是非接觸式,因此可以對腐蝕性氣體的流量測量進行高速流量控制。
規(guī)格
溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 準確性 | 控制范圍 | 最小滿量程 | 最大滿量程 | 海豹 |
5~50℃ | 50千帕 | 300千帕 | ±1%標準差 | 2~100%滿量程 | 5SCCM | 20秒 | 金 |