BR-2T 信陽(yáng)2噸電子廠半導(dǎo)體純水設(shè)備

信陽(yáng)2噸電子廠半導(dǎo)體純水設(shè)備通常較為復(fù)雜，需要經(jīng)過(guò)多個(gè)步驟來(lái)確保水質(zhì)達(dá)到半導(dǎo)體生產(chǎn)的高要求。以下是一般的工藝流程：

### 一、預(yù)處理階段

1. **原水增壓**

    - 原水首先進(jìn)入原水箱，通過(guò)原水泵增壓，為后續(xù)處理提供足夠的壓力。

2. **多介質(zhì)過(guò)濾器**

    - 經(jīng)過(guò)增壓后的原水進(jìn)入多介質(zhì)過(guò)濾器，濾料通常包括石英砂、無(wú)煙煤等，主要去除水中的懸浮物、泥沙、顆粒雜質(zhì)等較大顆粒物質(zhì)，降低水的濁度，保護(hù)后續(xù)設(shè)備。

3. **活性炭過(guò)濾器**

    - 接著水流通過(guò)活性炭過(guò)濾器，活性炭具有強(qiáng)大的吸附能力，能吸附水中的余氯、有機(jī)物、部分重金屬離子等，改善水的口感和氣味，同時(shí)進(jìn)一步去除水中的微小顆粒雜質(zhì)。

4. **軟化器**

    - 若原水硬度較高，需要經(jīng)過(guò)軟化器進(jìn)行離子交換處理，去除水中的鈣、鎂離子，防止后續(xù)反滲透膜結(jié)垢，提高反滲透裝置的運(yùn)行效率和壽命。

### 二、核心處理階段

1. **一級(jí)反滲透裝置**

    - 經(jīng)過(guò)預(yù)處理的水進(jìn)入一級(jí)反滲透裝置（RO 裝置）。在壓力作用下，水分子透過(guò)反滲透膜，而大部分溶解性鹽類、有機(jī)物、微生物、細(xì)菌等被截留，產(chǎn)水電導(dǎo)率可達(dá)到 10μS/cm 以下。一級(jí)反滲透的回收率一般在 60%-75%之間。

2. **二級(jí)反滲透裝置（可選）**

    - 對(duì)于水質(zhì)要求更高的半導(dǎo)體生產(chǎn)，可能還需要進(jìn)行二級(jí)反滲透處理。二級(jí)反滲透進(jìn)一步去除水中的殘留鹽分和雜質(zhì)，使產(chǎn)水電導(dǎo)率進(jìn)一步降低到 5μS/cm 以下，甚至更低，以滿足半導(dǎo)體工藝對(duì)超純水的高純度要求。二級(jí)反滲透的回收率一般在 70%-85%之間。

### 三、后處理階段

1. **脫氣塔**

    - 從反滲透裝置出來(lái)的純水可能含有一定量的二氧化碳?xì)怏w，通過(guò)脫氣塔可以去除水中的二氧化碳，降低水的電導(dǎo)率。

2. **EDI 裝置（連續(xù)電去離子裝置）**

    - EDI 裝置是利用混合離子交換樹(shù)脂吸附給水中的陰陽(yáng)離子，同時(shí)在直流電壓的作用下，通過(guò)樹(shù)脂和水的界面進(jìn)行相對(duì)應(yīng)離子的交換、遷移，使純水更加純凈，電阻率達(dá)到 16MΩ·cm 以上，滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)超純水的高電阻率要求。

3. **紫外線殺菌器**

    - 采用紫外線殺菌，破壞水中微生物的 DNA 結(jié)構(gòu)，殺滅水中的細(xì)菌、病毒等微生物，確保水質(zhì)的微生物指標(biāo)合格。

4. **終端過(guò)濾器**

    - 在純水出水前設(shè)置終端過(guò)濾器，通常為孔徑較小的微濾或超濾濾芯，進(jìn)一步攔截水中可能殘留的微小顆粒雜質(zhì)，保證出水水質(zhì)的顆粒物指標(biāo)達(dá)標(biāo)。

通過(guò)以上一系列的工藝步驟，信陽(yáng)2噸電子廠半導(dǎo)體純水設(shè)備能夠制備出符合半導(dǎo)體生產(chǎn)要求的超純水，為半導(dǎo)體芯片制造過(guò)程中的清洗、蝕刻、摻雜等關(guān)鍵環(huán)節(jié)提供高質(zhì)量的水資源，確保半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。