全自動(dòng)掃描探針顯微鏡 AFM5500MⅡ

AFM5500M II全自動(dòng)掃描探針顯微鏡除了配置高精度平板掃描器和各種測(cè)量自動(dòng)化功能，還有兩種共享坐標(biāo)樣品臺(tái)功能。通過(guò)多種設(shè)備的關(guān)聯(lián)解析，實(shí)現(xiàn)了單個(gè)設(shè)備無(wú)法實(shí)現(xiàn)的多維缺陷評(píng)價(jià)和故障解析。

主要特點(diǎn)

1. AFM自動(dòng)化測(cè)量

• 通過(guò)自動(dòng)化控制大大提高效率，自動(dòng)探針安裝，自動(dòng)光軸調(diào)整，自動(dòng)參數(shù)優(yōu)化；

• 排除人為操作失誤導(dǎo)致的測(cè)量誤差，一鍵自動(dòng)測(cè)量/處理/分析（提高整體測(cè)試效率）

2. 可靠性

排除機(jī)械原因造成的誤差

大范圍水平掃描

采用管型掃描器的原子力顯微鏡，針對(duì)掃描器圓弧運(yùn)動(dòng)所產(chǎn)生的曲面，通常通過(guò)軟件校正方式獲得平面數(shù)據(jù)。但是，用軟件校正方式不能消除掃描器圓弧運(yùn)動(dòng)的影響，圖片上經(jīng)常發(fā)生扭曲效果。
AFM5500M搭載了全新研發(fā)的水平掃描器，可實(shí)現(xiàn)不受圓弧運(yùn)動(dòng)影響的準(zhǔn)確測(cè)試。 

樣品 ：硅片上的非晶硅薄膜

高精角度測(cè)量

普通的原子力顯微鏡所采用的掃描器，在豎直伸縮的時(shí)候，會(huì)發(fā)生彎曲（crosstalk）。這是圖像在水平方向產(chǎn)生形貌誤差的直接原因。
AFM5500M中搭載的全新掃描器，在豎直方向上不會(huì)發(fā)生彎曲（crosstalk） ，可以得到水平方向沒(méi)有扭曲影響的正確圖像。

樣品 : 太陽(yáng)能電池(由于其晶體取向具有對(duì)稱結(jié)構(gòu))

• * 使用AFM5100N（開(kāi)環(huán)控制）時(shí)  

3. 利用探針評(píng)價(jià)功能進(jìn)行探針直徑管理

4. SIS模式可有效提高數(shù)據(jù)可靠性

SIS（Sampling Intelligent Scan）樣品智能掃描模式只有在需要測(cè)量樣品形貌和物性信息時(shí)才靠近測(cè)量點(diǎn)，自動(dòng)控制探針位置，消除對(duì)測(cè)量不利的水平力，可測(cè)量吸附力較大或粗糙的樣品，同時(shí)可大幅降低對(duì)探針的磨損和對(duì)樣品的損傷，有效提高數(shù)據(jù)的可靠性。

5. 支持機(jī)械物性/電磁物性等廣泛的物性測(cè)量

掃描探針顯微鏡是一種不僅可以測(cè)量形貌，還支持各種物性檢測(cè)的顯微鏡。AFM5500MⅡ支持可同時(shí)獲取彈性模量、形變、吸附力和摩擦力等各種機(jī)械物性的SIS-ACCESS/SIS-QuantiMech功能、以及導(dǎo)電性、壓電分布和表面電位等各種電磁物性測(cè)量。

6. 新的表面電位勢(shì)測(cè)量模式 AM-KFM/FM-KFM（可用于定量和靈敏度等不同場(chǎng)景）

除調(diào)幅開(kāi)爾文力顯微鏡(AM-KFM)外，AFM5500MⅡ還新增了調(diào)頻開(kāi)爾文力顯微鏡(FM-KFM)。FM-KFM與AM-KFM相比，信號(hào)主要來(lái)自于探針的，電位檢測(cè)靈敏度更高，在電位的定量分析上更勝。AM-KFM適用于單一材料間的電位和功函數(shù)對(duì)比等，F(xiàn)M-KFM適用于測(cè)量需要進(jìn)行精細(xì)周期結(jié)構(gòu)和海島結(jié)構(gòu)量化的復(fù)合材料，兩種模式通過(guò)點(diǎn)擊即可自由切換。

7. 使用AFM、SEM、CSI等不同顯微鏡觀察同一位置，實(shí)現(xiàn)多維度解析

通過(guò)SEM、AFM、CSI等進(jìn)行樣品的同一位置測(cè)試，可以對(duì)目標(biāo)視野進(jìn)行多維度解析，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的參照對(duì)比。日立高新可以提供的SEM/AFM/CSI同視野觀察，實(shí)現(xiàn)聯(lián)動(dòng)分析。

使用共享樣品臺(tái)進(jìn)行坐標(biāo)聯(lián)動(dòng)，或通過(guò)全新的AFM標(biāo)記功能，可以在AFM、SEM、CSI之間快速、輕松地鎖定同一視野，進(jìn)一步擴(kuò)大了聯(lián)動(dòng)分析的應(yīng)用范圍。