KLA Tencor® P-170 探針式輪廓儀
| 參考價(jià) | ￥50000-￥999999/臺(tái) |
- 公司名稱 德國(guó)韋氏納米系統(tǒng)（香港）有限公司
- 品牌KLA-Tencor
- 型號(hào)
- 所在地香港特別行政區(qū)
- 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間2025/3/7 14:32:42
- 訪問次數(shù) 67
聯(lián)系方式：劉先生18721247059 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 接觸式輪廓儀/粗糙度儀 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 50萬(wàn)-100萬(wàn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,電子/電池,包裝/造紙/印刷,航空航天,電氣 |
KLA Tencor® P-170 探針式輪廓儀是一款自動(dòng)化輪廓儀，具有行業(yè)優(yōu)秀的P-17的臺(tái)式系統(tǒng)測(cè)量性能和經(jīng)HRP®-260生產(chǎn)驗(yàn)證的機(jī)械手臂。這種組合為半導(dǎo)體、化合物半導(dǎo)體和相關(guān)行業(yè)提供了一種擁有基于機(jī)械手臂系統(tǒng)的低成本解決方案。KLA Tencor® P-170 探針式輪廓儀支持對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量，掃描范圍可達(dá)200毫米且無(wú)需拼接。
通過結(jié)合UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描樣品臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)出色的測(cè)量穩(wěn)定性。使用點(diǎn)擊式樣品臺(tái)控制、頂視和側(cè)視光學(xué)元件以及具有光學(xué)變焦功能的高分辨率相機(jī)，可快速輕松地設(shè)置程式。Tencor P-170支持2D或3D測(cè)量，可使用多種濾波、調(diào)平和分析算法來測(cè)量表面形貌。全自動(dòng)測(cè)量是通過自動(dòng)晶圓處理、圖形識(shí)別、排序和特征檢測(cè)實(shí)現(xiàn)的。
特征
臺(tái)階高度：納米級(jí)到1000微米
恒定力控制：0.03至15mg
樣品的全直徑掃描，無(wú)需拼接
視頻：5MP高分辨率彩色相機(jī)
弧形校正：可消除探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差
軟件：簡(jiǎn)單易用的軟件界面
生產(chǎn)能力：全自動(dòng)測(cè)量，具有測(cè)序、圖形識(shí)別和SECS/GEM功能
晶圓傳輸機(jī)械手臂：自動(dòng)加載直徑為75毫米到200毫米的不透明（例如硅）和透明（例如藍(lán)寶石）樣品
應(yīng)用
臺(tái)階高度：2D和3D臺(tái)階高度
紋理：2D和3D粗糙度和波紋度
形狀：2D和3D翹曲、形狀
應(yīng)力：2D和3D薄膜應(yīng)力
缺陷檢測(cè)：2D和3D缺陷表面形貌
工廠
半導(dǎo)體
化合物半導(dǎo)體
LED：發(fā)光二極管
MEMS：微機(jī)電系統(tǒng)
數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
汽車
采購(gòu)中心
化工儀器網(wǎng)