官方微信|手機(jī)版

產(chǎn)品展廳

產(chǎn)品求購企業(yè)資訊會展

發(fā)布詢價單

化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>光刻及涂膠顯影設(shè)備>無掩模光刻機(jī)/直寫光刻機(jī)>CG-MLC6 實驗室無掩膜曝光機(jī)

分享
舉報 評價

CG-MLC6 實驗室無掩膜曝光機(jī)

參考價 1
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 合肥重光電子科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 CG-MLC6
  • 產(chǎn)地 安徽省合肥市經(jīng)開區(qū)
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/3/22 17:46:46
  • 訪問次數(shù) 65

聯(lián)系方式:張玉標(biāo)查看聯(lián)系方式

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


     合肥重光電子科技有限公司是一家專業(yè)從事儀器設(shè)備的生產(chǎn)商。針對國家大力扶持的太陽能電池和半導(dǎo)體等科技領(lǐng)域。

        我司有專業(yè)的檢測儀器和工藝實驗設(shè)備,能夠滿足不同客戶的打樣和定制化需求。同時我司與中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)微納加工平臺、合肥工業(yè)大學(xué)微納加工平臺保持技術(shù)上的交流,能有效幫助客戶解決工藝問題。

        我司提供產(chǎn)品的定制化代工業(yè)務(wù),滿足客戶對自營品牌的需求,讓客戶從而實現(xiàn)資產(chǎn)輕量化運(yùn)營。

        ‍‍我司產(chǎn)品優(yōu)勢:提供定制化服務(wù),滿足客戶多樣化需求,從而為客戶節(jié)約更多科研經(jīng)費(fèi)。其中低速勻膠平穩(wěn),結(jié)束低粘度光阻勻膠依賴進(jìn)口品牌。

 

 

 

勻膠、熱板、顯影、等離子、光刻設(shè)備

產(chǎn)品特點(diǎn):

數(shù)字光刻系統(tǒng)

微納器件無掩模版直寫光刻

光掩模版制作

3D結(jié)構(gòu)曝光功能                                        

自動對準(zhǔn)功能

用戶自定義標(biāo)記對準(zhǔn)功能

可視化定點(diǎn)曝光功能

自動聚焦功能                                          

不規(guī)則樣片曝光

快速、精細(xì)兩種曝光模式

支持多種數(shù)據(jù)格式(GDSⅡ/ Gerber/ O DB++)

背部對準(zhǔn)功能(選配)

實驗室無掩膜曝光機(jī)                          

405nm LD光源(375nm可選)


參數(shù):

型號

MLC Lite

ModeⅠ

Mode  Ⅱ

Mode Ⅲ

最小特征尺寸

0.5μm

1μm

2μm

最小線寬線距

0.8μm

1.2μm

2.5μm

CD均勻性

10%

10%

10%

兩層對位精度 5x5m㎡

500nm

800nm

1000nm

兩層對位精度 50x50m㎡

800nm

1000nm

1500nm

產(chǎn)能

50mm2/min

100mm2/min

300mm2/min

最小基板尺寸

5mm x 5mm

基板厚度

0.1 - 12mm(可選)

曝光面積

150mm x 150mm

灰度曝光

可選128階

曝光光源

Laser, 405nm or 375nm



該廠商的其他產(chǎn)品



化工儀器網(wǎng)

采購商登錄
記住賬號    找回密碼
沒有賬號?免費(fèi)注冊

提示

×

*您想獲取產(chǎn)品的資料:

以上可多選,勾選其他,可自行輸入要求

個人信息:

溫馨提示

該企業(yè)已關(guān)閉在線交流功能